[实用新型]实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚有效
申请号: | 201320449383.1 | 申请日: | 2013-07-26 |
公开(公告)号: | CN203393255U | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 谭毅;熊华江;刘东雷;王永国;刘燕;黄佳琪;黄凯;李左;李鹏廷;王峰 | 申请(专利权)人: | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/04 | 分类号: | C30B28/04;C30B29/06;B32B18/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266234 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 实现 多晶 铸锭 无黑边 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚,包括氮化硅坩埚,其特征在于氮化硅坩埚内壁依次喷涂有氮化硅涂层和硅粉涂层。
2.根据权利要求1所述的实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚,其特征在于氮化硅涂层的厚度为0.5~2mm。
3.根据权利要求1所述的实现多晶硅铸锭无黑边的坩埚,其特征在于硅粉涂层的厚度为0.5~2mm。
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