[实用新型]一种用于LED晶片分选机的气路

权利要求书

1.一种用于LED晶片分选机的气路，包括压缩空气源（1）和流速控制阀（3），其特征是：所述流速控制阀（3）后分别设有压缩空气气路和真空气路，所述压缩空气气路，包括依次顺序连接的控制装置（4）和气路分流器（5），所述的真空气路包括真空发生器组件（7）。

2.根据权利要求1所述的用于LED晶片分选机的气路，其特征是：所述的控制装置（4）包括依次顺序连接的空气过滤器（4.1）、过滤减压阀（4.2）、油雾分离器（4.3），所述空气过滤器（4.1）和过滤减压阀（4.2）之间设有数字式压力开关（4.4）。

3.根据权利要求2所述的用于LED晶片分选机的气路，其特征是：所述的气路分流器（5）上设有8个分支接口。

4.根据权利要求3所述的用于LED晶片分选机的气路，其特征是：所述的真空发生器组件（7）包括真空发生器（7.1），所述真空发生器（7.1）上设有进气口、排气口和真空口，所述排气口上接有消音器（7.2），所述真空口上接有雾水分离器（7.3）。