[实用新型]动态痕量气体浓度配气装置有效
申请号: | 201320447617.9 | 申请日: | 2013-07-25 |
公开(公告)号: | CN203422675U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 王勇军;冯燕谷 | 申请(专利权)人: | 上海上计群力分析仪器有限公司 |
主分类号: | G05D11/13 | 分类号: | G05D11/13 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 施春花;翟羽 |
地址: | 201107 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 动态 痕量 气体 浓度 装置 | ||
1. 动态痕量气体浓度配气装置,其特征在于,所述动态痕量气体浓度配气装置包括:
多组分气路,所述多组分气路包括组分气1或组分气2中的一组或几组,所述组分气1包括稳压阀和电子气体质量流量控制器,所述组分气2包括稳压阀、电子气体压力控制器、多组毛细管和加热恒温槽;
稀释气路,所述稀释气路包括稳压阀和电子气体质量流量控制器;
混合缓冲气室,所述混合缓冲气室为内含磁浮搅拌的不锈钢气体缓冲腔体,所述多组分气路、稀释气路与混合缓冲气室连接;以及
控制系统,所述控制系统与多组分气路、稀释气路和混合缓冲气室连接,通过LCD键盘或计算机进行对装置中各功能模块参数的设置和显示。
2.根据权利要求1所述的动态痕量气体浓度配气装置,其特征在于,所述电子气体质量流量控制器的流量控制范围在0~100ml/min或0~200ml/min或0~1000ml/min。
3.根据权利要求1所述的动态痕量气体浓度配气装置,其特征在于,所述多组毛细管为玻璃纤维材质,其管径不大于0.1mm,并安装于恒定温度的加热恒温槽中。
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