[实用新型]带有下剖轨道的真空管式炉有效

专利信息
申请号: 201320447434.7 申请日: 2013-07-25
公开(公告)号: CN203478944U 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 徐海枫;周平;张金山;王寅生;赵冰 申请(专利权)人: 上海飞凯光电材料股份有限公司
主分类号: F27B9/04 分类号: F27B9/04;F27B9/26;F27B9/40
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 刘映东
地址: 201206 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 带有 轨道 真空管
【权利要求书】:

1.带有下剖轨道的真空管式炉,包括炉体、导轨、温度控制柜、可滑动装置和装料容器,所述炉体为下剖式,所述炉体下方设置所述温度控制柜,所述炉体内部设置炉腔,所述炉腔下方设置所述导轨,且所述导轨位于所述温度控制柜上,所述可滑动装置与所述装料容器相连,所述可滑动装置相对所述导轨滑动,所述装料容器安装在所述可滑动装置上。

2.如权利要求1所述的管式炉,其特征在于,所述管式炉还包括温度控制系统,所述温度控制系统包括加热元件、测温元件、温度控制器、控制开关和信号线,所述加热元件和测温元件设置在所述炉体中,所述温度控制器和所述控制开关设置在所述温度控制柜中,所述测温元件通过所述信号线将测量的温度上传到所述温度控制器,所述温度控制器通过控制所述控制开关对所述加热元件进行控制。

3.如权利要求2所述的管式炉,其特征在于,所述炉体分成多个温区,且每个温区设有独立的温度控制系统。

4.如权利要求3所述的管式炉,其特征在于,所述温区之间的所述炉腔内壁为圆弧形。

5.如权利要求1所述的管式炉,其特征在于,所述炉体两端处的所述炉腔内壁为圆弧形。

6.如权利要求1所述的管式炉,其特征在于,所述可滑动装置为滑轮,且所述滑轮安装在所述装料容器的下端。

7.如权利要求1所述的管式炉,其特征在于,所述可滑动装置为小车,且所述小车安装在所述装料容器的下端。

8.如权利要求7所述的管式炉,其特征在于,所述装料容器为石英管,且所述石英管安装在所述小车上。

9.如权利要求1所述的管式炉,其特征在于,所述炉体左右两侧各设置一台所述可滑动装置。

10.如权利要求1-9任一项权利要求所述的管式炉,其特征在于,所述炉体还包括加热元件插入口,且所述加热元件插入口设置在所述炉体的上端面上。

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