[实用新型]真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置。

背景技术

在专利号为200810106312.5的中国专利中已经公开了一种溅射镀膜装置，在上述专利中的溅射镀膜装置包括溅射系统和真空泵，在溅射系统中加入了吸气剂泵，将工作气体进一步纯化，大大降低了活性气体对薄膜材料的污染，提高了薄膜的生长质量，特别是对于一些活性较强的材料有很明显的效果，上述镀膜装置如图1所示。但是，这套溅射镀膜装置的手动操作程序繁杂且容易出错，例如，在特定条件下启动某仪器、手动逐步调升/调降灯丝电流、手动逐步调升偏置电压、手动调整各阶段的真空度的等等；在整个镀膜过程（约五六小时）中，操作人员不得离开，必须用眼睛观察镀膜系统有无出问题，例如，镀膜时有无“灭弧”、灯丝加速电源有无跳闸、循环冷却水有无断流等等问题。从而无法一人监控多台设备，而且熟练操作人员一旦离职，新来操作人员培训费时费力。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置，由自动控制装置对溅射镀膜装置进行控制，使其自动完成镀膜过程。

为了实现上述目的，本实用新型一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置，包括用于控制溅射镀膜装置完成镀膜过程的CNC（ComputerNumerical Controller)控制器和PLC(ProgrammableLogicCircuit)，所述PLC内附或外挂在所述CNC控制器上，并与CNC控制器信号连接，所述溅射镀膜装置中的各动作元件分别与CNC控制器或PLC信号连接。

进一步，当所述PLC外挂在所述CNC控制器上时，PLC与CNC控制器通过RS232连接。

进一步，所述CNC控制器具体与所述溅射镀膜装置中的流量计、机械真空泵、分子泵、分子泵伺服马达/步进马达、灯丝磁场、靶磁场触发装置、循环水系统和转台马达信号连接，由CNC控制器下达动作指令（例如电源的开/关、马达的正转/反转角度等）。

进一步，所述PLC具体与所述溅射镀膜装置中的热偶规、电离规、灯丝电源、灯丝加速电源、偏压电源和弧电源信号连接，由所述CNC控制器通过PLC下达动作指令，由PLC读取的数据反馈至CNC控制器。

进一步，所述PLC与所述溅射镀膜装置中的动作元件通过RS485连接。

进一步，所述CNC控制器通过人机界面来接受操作员所键入的各种参数、提供给操作员各种警报和提示、并显示给操作员当前系统的状态。

本实用新型一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置，通过CNC控制器和PLC来执行程序，具体控制背景技术中提到的溅射镀膜装置自动化地完成镀膜过程，其优点是：使镀膜过程全自动化，只需要把欲镀膜物品置入真空室，启动系统之后便可以离开，在完成镀膜之后，回来取出成品，解除操作人员的沉重负担；避免操作人员犯错而导致镀膜失败的问题；使新手很容易学会操作。

附图说明

图1为现有技术中溅射镀膜装置的连接示意图；

图2为本实用新型一种真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置的连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作详细说明。