[实用新型]单晶铜键合金丝清洗装置有效
| 申请号： | 201320437109.2 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN203403160U | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 贺龙彪 | 申请（专利权）人： | 河南昶森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/02 | 分类号： | C23G3/02 |
| 代理公司： | 安阳市智浩专利代理事务所 41116 | 代理人： | 张智和 |
| 地址： | 457000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶铜键 合金丝 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶铜键合金丝清洗装置，包括清洗管，清洗管的两端连接进液管，清洗管的中部连通出液管，其特征在于，清洗管内设置旋流器，旋流器的表面设置有4至6个均布的螺旋状的旋流器旋片，在每个旋流器旋片之间形成旋流器旋槽，旋流器的中心部设置有旋流器贯通孔。
2.根据权利要求1所述单晶铜键合金丝清洗装置，其特征在于，清洗管内设置旋流器内设置两个旋流器，两个旋流器相向设置。
3.根据权利要求1所述单晶铜键合金丝清洗装置，其特征在于，流器贯通孔呈锥形。
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