[实用新型]光栅机械刻划工艺试验装置

权利要求书

1.一种光栅机械刻划工艺试验装置，龙门悬架安装在底座（1）上，刀架（2）刚性悬挂在龙门悬架横梁（3）中部；刻划刀具（4）安装在刀架（2）下端；定位平台与刀架（2）在Z方向上对应并安装在底座（1）上；定位平台中的直线位移平台（5）由X向平移平台、Y向平移平台、Z向平移平台（6）三者叠加连接而成；其特征在于，龙门悬架的两根立柱（7）竖直固定在底座（1）上，横梁（3）两端与两根立柱（7）内侧通过燕尾槽连接；定位平台中的弧线位移平台（8）由X轴弧线位移平台与Y轴弧线位移平台叠加而成；直线位移平台（5）与弧线位移平台（8）叠加连接在一起；XYZ三向微力测力仪（9）位于定位平台上部；刀架（2）中的X轴调节座、Y轴调节座、Z轴调节座三者叠加连接在一起。 

2.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，直线位移平台（5）在上、弧线位移平台（8）在下。 

3.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，XYZ三向微力测力仪（9）位于定位平台中的直线位移平台（5）中的Z向平移平台（6）的下面。 

4.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，在定位平台的上端还安装有平面真空吸附转台（11）。 

5.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，在刀架（2）的下端还安装有刀座（12），由刀座（12）固定刻划刀具（4）；X轴调节座、Y轴调节座、Z轴调节座、刀座（12）、刻划刀具（4）具有共同的Z向几何轴线。 

6.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，所述定位平台中的弧线位移平台（8）中的X轴弧线位移平台与Y轴弧线位移平台结构相同，弧线位移的轴线相互垂直；X轴弧线位移平台或者Y轴弧线位移平台其结构为，上滑块（14）与下滑块（15）之间的接触面为柱面，上滑块（14）与下滑块（15）通过弧线燕尾槽结构滑动连接，丝杠螺母弧线位移驱动机构中的丝杠（16）沿与所述柱面母线垂直的方向穿过上滑块（14），与下滑块（15）柱面表面上的半螺母螺纹啮合；电机（17）固定在上滑块（14）上，电机（17）转轴通过联轴器（18）与丝杠（16）同轴连接。 

7.根据权利要求4所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，所述平面真空吸附转台（11）其结构为，台面（24）与台座（25）同轴连接，调整杆（26）一端与台面（24）下方的开口箍螺纹连接，开口箍套在台面（24）的转轴上；台面（24）上开有真空吸附孔，由真空泵为真空吸附孔提供负压。 

8.根据权利要求1所述的光栅机械刻划工艺试验装置，其特征在于，刀架（2）中的X轴调节座、Y轴调节座结构相同，二者的旋转调节轴线相互垂直；所述X轴调节座或者Y轴 调节座的结构为，定块（27）与动块（28）之间的接触面为柱面，定块（27）与动块（28）通过弧线燕尾槽结构滑动连接，丝杠螺母调角驱动机构中的调角丝杠（29）沿与所述柱面母线垂直的方向穿过定块（27），与动块（28）柱面表面上的半螺母螺纹啮合；刀架（2）中的Z轴调节座其结构为，转盘（30）的转轴嵌入基座（31）中，转轴的轴线为Z轴，调角螺杆（32）安装在基座（31）侧面，调角螺杆（32）与转盘（30）的转轴之间由齿轮传动机构连接；在刀架（2）中，自上而下依次是Y轴调节座、X轴调节座、Z轴调节座，Y轴调节座的定块（27）与龙门悬架的横梁（3）固定连接，X轴调节座的定块(27)与Y轴调节座的动块(28)固定连接，Z轴调节座的基座(31)与X轴调节座的动块(28)固定连接。