[实用新型]一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备

权利要求书

1.一种节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，包括镀膜腔体单元，其特征在于，所述的镀膜腔体单元，包括基座、靶材架、背板座、玻璃架；靶材架、背板座安装于基座上，围成镀膜腔；靶材架上设有靶材阴极，靶材架与基座之间设有开合装置；所述玻璃架设于镀膜腔内，为立式结构。

2.如权利要求1所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，它由多个镀膜腔体单元串接而成；相邻镀膜腔体单元之间设有工艺隔离腔体；镀膜腔体单元与工艺隔离腔体之间设有隔离阀。

3.如权利要求1或2所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，所述玻璃架与垂直面具有0－10度的角度，所述靶材阴极与垂直面具有0－10度的角度。

4.如权利要求1或2所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，所述的靶材架上的靶材阴极采用自闭合形式的非平衡磁场布置形式的多阴极的溅射靶位布置。

5.如权利要求1或2所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，所述玻璃架设有玻璃传送装置。

6.如权利要求1或2所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，所述开合装置包括：驱动杆、轴套、转轴、传动臂、压力机；驱动杆的一端与靶材架固定，另一端固定在轴套上；轴套套在转轴外；传动臂的一端固定在轴套上；压力机的压力杆顶在传动臂的另一端。

7.如权利要求6所述的节能低辐射玻璃立式磁控溅射生产设备，其特征在于，所述压力机为液压缸或气压缸。