[实用新型]一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台有效
| 申请号： | 201320422246.9 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN203414328U | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张珂;金传伟;洪慧敏;牛亚慧 | 申请（专利权）人： | 江苏省沙钢钢铁研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215625 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 聚焦 离子束 多功能 样品 | ||
1.一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：该样品台包括水平样品台面（1）、倾斜样品台面（3）、可调节式夹具（5）和底部螺丝（6），所述的水平样品台面上设有小孔（2），所述的倾斜样品台面（3）与水平样品台面（1）的夹角为52°，倾斜样品台面（3）上端设有凹槽（4），下端有一凸起处，可调节式夹具（5）设置在倾斜样品台面（3）上，可调节式夹具（5）的第一夹片（5-1）与倾斜样品台面（3）上的凹槽相匹配，底部螺丝（6）与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配。
2.如权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：水平样品台面（1）上的小孔（2）与扫描电镜的标准钉型样品台相匹配。
3.如权利要求1所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：所述的可调节式夹具（5）主要由第一夹片（5-1），第二夹片（5-2），带圆形凹槽的调节固定螺丝（5-3），圆形凹槽匹配的卡扣（5-4）组成。
4.如权利要求3所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：所述的第一夹片（5-1）上设有螺纹通孔，所述的第二夹片（5-2）上设有凹槽通孔，第一夹片（5-1）与第二夹片（5-2）使用调节固定螺丝（5-3）连接。
5.如权利要求3所述的用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：所述的带圆形凹槽的调节固定螺丝（5-3）一端设有内六角槽。
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