[实用新型]一种大功率模块化等离子体发生器电源

权利要求书

1.一种大功率等离子体发生器电源，其特征在于：所述等离子体发生器电源包括直流电源和引弧电源；所述直流电源由N个电源模块和一个监控模块MU组成；所述电源模块均为独立的恒流源，其将三相交流电转换成电压和电流可控的直流电，使得直流电源呈恒流特性；所述N个电源模块的输出作为所述等离子发生器电源的输出；所述电源模块采用数字化双DSP控制、有源PFC、软开关技术，具有宽输入电压范围、宽工作温度范围、高功率密度、高效率、自主均流的特色；所述监控模块分别与N个电源模块和引弧电路相连接，所述电源模块的输出电压、电流和功率均由所述监控模块设置和控制。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述引弧电源包括工频升压变压器T1和高频耦合变压器T2；工频升压变压器T1的输入端接交流电源，输出端接火花放电器后，一端接高频振荡电容，另一端接限流电阻R1，构成火花放电电路，高频耦合变压器T2一方面作为火花放电回路的电感L1，另一方面作为升压变压器将高频脉冲的电压幅值进一步升高；高频耦合变压器T2输出端的一端接一高压高频电容C3，所述高压高频电容隔离直流电源，使得引弧电源的输出可直接与直流电源的输出并联连接，同时简化了引弧电源和直流电源的输出时序控制。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述高频耦合变压器T2输出串接多个电容工作电压较低的高频电容。

4.根据权利要求2所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述高频耦合变压器T2两输出端分别接高压高频电容。

5.根据权利要求1或2所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述直流电源的输入通过开关K1控制，输出通过开关K2控制；所述引弧电源的输入通过开关K3控制，输出通过开关K4控制。

6.根据权利要求4所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述开关K1为隔离开关/断路器或者接触器或者是二者的组合。

7.根据权利要求4所述的等离子体发生器电源，其特征在于：K2为隔离开关/断路器、或者继电器/接触器。

8.根据权利要求4所述的等离子体发生器电源，其特征在于：K3为隔离开关/断路器、或者接触器或者是二者的组合。

9.根据权利要求4所述的等离子体发生器电源，其特征在于：K4为隔离开关/断路器、或者继电器/接触器。

10.根据权利要求1所述的等离子体发生器电源，其特征在于：所述等离子发生器电源采用风冷散热。