[实用新型]具流量控制的晶圆载具气体填充装置

权利要求书

1.一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，该晶圆载具气体填充装置包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置，其特征在于： 

该进气端，连接于该进气端质量流量控制器与该晶圆载具间； 

该排气端，连接于该晶圆载具； 

该气体特性感测器，连接于该排气端； 

该排气端质量流量控制器，连接于该气体特性感测器； 

该抽气装置，连接于该排气端质量流量控制器； 

该控制装置，电连接于该气体特性感测器，用以接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。 

2.根据权利要求1所述的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，其特征在于：该气体特性感测器为一个湿度感测器。 

3.根据权利要求1所述的具流量控制的晶圆载具气体填充装置，其特征在于：该抽气装置为鲁氏泵浦、螺旋式泵浦，及涡卷式泵浦其中一者。