[实用新型]一种新型硅片预冲洗设备有效
| 申请号： | 201320401020.0 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN203426091U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 黄伟山;杨东风;彭军 | 申请（专利权）人： | 太仓协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 冲洗 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：它包括喷淋槽（1）、抛动电机（2）、气动隔膜泵（3）、废砂浆收集箱（4），所述喷淋槽（1）还包括喷淋管（５）、过滤网（6），所述喷淋槽（1）分别与抛动电机（2）和气动隔膜泵（3）连接，所述气动隔膜泵（3）与废砂浆收集箱（4）相连。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：所述的喷淋管（５）有四排，且喷淋管（５）上设有气嘴（7）。
3.根据权利要求1所述的一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：所述的过滤网（6）设于喷淋槽（1）的底部。
4.根据权利要求1所述的一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：所述的喷淋槽（1）后面设有挡板（8），所述挡板（8）上设有滑道（9）及与滑道（9）相匹配的滑块（10）。
5.根据权利要求1所述的一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：所述抛动电机（2）上设有机械臂（11），所述机械臂（11）通过滑块（10）上下运动。
6.根据权利要求1所述的一种新型硅片预冲洗设备，其特征在于：所述的喷淋槽（1）和气动隔膜泵（3）之间的管道上设有气动排液阀（12）。
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