[实用新型]原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台

权利要求书

1.一种原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：包括堵片（1）、设在该堵片（1）上的多个独立金属电极（2）和液体腔；其中两个独立金属电极（2）上设有异质结发光源（4）；所述液体腔垂直于堵片延伸，包括顶部件（5）、底部件（6）和隔层（8）；所述顶部件（5）和底部件（6）的外表面通过化学气相法生长有低应力氮化硅膜，使用半导体工艺在生长了低应力氮化硅膜的顶部件（5）上形成两个沿顶部件（5）的厚度方向贯通的空洞（5-1、5-2），所述两个空洞（5-1、5-2）沿垂直于堵片（1）的方向间隔设置；顶部件（5）设置在底部件（6）上，顶部件（5）与底部件（6）的周边结合面之间夹设有隔层（8），从而在空洞（5-1、5-2）之间形成通路（14）；还包括盖在所述两个空洞（5-1、5-2）的上方的高透光性的顶盖（11）；顶部件（5）、底部件（6）、隔层（8）以及顶盖（11）一起配合，并使用环氧树脂固化剂粘接封装形成液体腔。

2.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述顶部件（5）和/或底部件（6）设有透射电镜观察窗（12），电子束通过透过观察窗（12），对正在进行的电化学反应或者光催化反应进行动态观察。

3.根据权利要求2所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述观察窗（12）位于通道（14）的正上方或正下方。

4.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述隔层（8）的材料为二氧化硅。

5.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述低应力氮化硅膜（7）的厚度为30～50纳米。

6.根据权利要求4所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述隔层（8）的厚度为100～200纳米。

7.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述顶部件（5）和底部件（6）的材料为硅片。

8.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述空洞（5-1、5-2）内分别设有外加电场电极（10）。

9.根据权利要求1所述的原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：所述顶盖（11）的材料为ITO玻璃。