[实用新型]用于支撑和输送基板的装置

说明书

本申请是申请人于2012年6月6日提交的，申请号为“201220271512.8”，发明名称为“用于支撑和输送基板的装置”的实用新型专利申请的分案申请。

技术领域

本发明的方面一般地涉及用于在基板上沉积印刷材料的方法和设备。本文所提出的一些实施例涉及例如在丝网印刷、喷墨印刷、激光印刷或其他技术中、用于沉积印刷迹线的设备的用于印刷基板的支撑和输送装置。实施例可用于例如通过在基板、板或诸如晶片、箔片或硅基物体等相似元件上使用多层图案印刷导电迹线，来制作光伏电池。实施例也可以与来自提供印刷操作的其他领域的印刷支撑元件一起使用。

背景技术

已知用于制造太阳能电池、光伏电池或类似的半导体装置的印刷机械，其利用单元（cell）、使用丝网印刷方法、通过适合的导电材料或者导电浆料（conductive paste）或接触浆料来实现电子电路和接触。

在这样的方法中一般使用的印刷机械包括与直线型输送机或者具有旋转工作台的机器相关联的适合的工作站，也叫做印刷巢，其中各个单元在支撑单元上远离工作站和朝向工作站移动。印刷巢具有工作表面或平面，其中要被处理的基板每次都搁置在所述工作表面或平面上。

更具体而言，印刷巢包括设置有流体动力回路的支撑表面，其中流体动力回路具有相互连接的多个通道，其中多个通道朝向布置基板的表面开口，以制作单元。流体动力回路与吸入装置相关联，其中吸入装置可以确定吸力（或比环境压力低的压力）和/或基板上的局部真空的状态，以保持基板附着到印刷巢上并且防止基板从正确的印刷位置移动。诸如卷烟纸等透气材料（transpirable material）层布置在印刷巢的表面与基板之间，以防止印刷巢的表面在单元的印刷期间变脏，并且防止基板在其下表面上受到损坏。

一种方法用于将基板放置在印刷巢上，并且然后将基板带入用于印刷操作的工作站。在印刷操作期间，在基板的面向印刷机械的表面上，制作导电迹线并且将（通过基板）的孔金属化。在金属化过程期间，孔完全或部分地填充金属浆料（例如银基金属浆料），其中金属浆料在单元的前表面（连接件可以直接连接到该前表面）与后表面之间具有导电和/或接触功能。

在印刷操作期间，吸入回路的启动具有正确地利用导电浆料填充存在于基板中的孔的功能。这允许使用所印刷的材料的流体性质。

因此，印刷巢所具有的流体动力回路执行在印刷期间保持要被印刷的基板的功能以及移动该基板的功能两者，以及在印刷步骤中提供正确地并且完全地填充孔的功能。

然而，在该操作期间，经常发生导电浆料从基板泄露并且弄脏透气材料层的情况，其中透气材料层必须更换或恢复。为此，印刷巢通常设置有装载器以加载透气材料层，其中该装载器包括与移动装置相关联的进给卷轴和收集卷轴。

假设印刷机械的较高生产力，需要透气材料层的频繁更换以防止其被沉积成形成不必要的厚度（其中随后的晶片搁置在其上），这可能导致印刷缺陷和/或可能弄脏随后的晶片。因此，透气材料的频繁更换可能引起不必要的导电条件和低质量的印刷。

透气材料的频繁更换也可能引起用于更换带的频繁停工，伴随着由于更换的带而带来的增加的成本。此外，透气材料的频繁更换可能引入在放置和制造随后的晶片时的发生错误的可能性。

而且，如果流体动力回路执行保持基板附着到印刷巢上的功能以及允许填充基板的孔的功能，由于这两个功能需要不同的工作压力，因此可能不能正确地控制这两个动作。这在大多数时候导致基板的孔的非受控的填充以及浆料从单元的背面的不必要的泄露。

因此，需要提供在用于印刷迹线的沉积的设备中支撑和输送印刷基板的设备和方法，其可避免导电浆料因意外而泄露。还需要基本上消除在前面的步骤中使用的印刷浆料意外地进入随后的印刷操作。

另一个需要是提供这样的设备和方法，该设备和方法允许将由于更换带而产生的停工时间和成本以及由于印刷支撑件在带上的不正确定位而产生的可能的印刷错误、限制为最低限度。

还需要通过适当地控制对基板的孔的填充水平来减少印刷浆料的浪费，从而可以调节金属在孔内部的水平，从而可以是齐平的或者部分突出的。

申请人已经设计并测试了实施例，以克服本领域的状态的缺点并且实现这些和其他的目的和优势。

发明内容

在独立权利要求中陈述并且描述了本发明，而从属权利要求描述了本发明的其他特征或对主要发明思想的改变。