[实用新型]粗糙度或表面微结构轮廓测量仪

权利要求书

1.一种用于测量待测对象（9）的待测对象表面的粗糙度或表面微结构轮廓的粗糙度或表面微结构轮廓测量仪，包括： 

固定在探测杆（4）上的表面探测体（10），用于接触式或非接触式检测待测对象表面的粗糙度或表面微结构轮廓； 

机动化的或者配设有致动器的进给装置，用于使表面探测体（10）沿着移动路径在探测路径长度上运动； 

用于检测表面探测体（10）相对于待测对象表面的位置的测量系统（6）；和 

驱动、数据采集和/或评价电子装置（12）和/或计算机接口； 

其特征在于：在所述探测杆（4）上和/或在用于保护所述探测杆（4）和/或表面探测体（10）以防被损坏的保护体（2）上安装有至少一个用于采集待测对象表面的图像的图像采集系统（3、11）。 

2.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述图像采集系统包括带有附加光学器件的CCD摄像机。 

3.根据权利要求2所述的测量仪，其特征在于：所述CCD摄像机具有等于或小于2mm²的、有源的摄像机芯片面。 

4.根据权利要求2或3所述的测量仪，其特征在于：所述附加光学器件是包括一个或多个透镜的摄像机物镜。 

5.根据权利要求4所述的测量仪，其特征在于：所述摄像机物镜具有等于或小于3mm或者等于或小于2mm的最大直径。 

6.根据权利要求5所述的测量仪，其特征在于：所述摄像机物镜具有好于100线对/mm的调制传递函数（MTF）。 

7.根据权利要求6所述的测量仪，其特征在于：所述摄像机物镜1：1成像或者放大或缩小地成像。 

8.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：所述图像采集系统和另一图像采集系统组合成一个立体图像生成系统。 

9.根据权利要求1-3任一项所述的测量仪，其特征在于：设有一个或 多个用于照射待测对象（9）的待测对象表面的照明器件（12、13）。 

10.根据权利要求9所述的测量仪，其特征在于：存在一个或多个用于在空间上和/或在时间上结构化地照射待测对象的待测对象表面的照明器件。 

11.根据权利要求9所述的测量仪，其特征在于：所述图像采集系统或各所述图像采集系统的输入缆线和/或所述一个照明器件或所述多个照明器件的输入缆线在探测杆（4）上或在探测杆中被引导。 

12.根据权利要求11所述的测量仪，其特征在于：所述探测杆（4）设计成探测杆管，并且所述图像采集系统和/或各所述图像采集系统的输入缆线和/或所述一个照明器件或所述多个照明器件的输入缆线在该探测杆管上或在该探测杆管中被引导。 

13.根据权利要求1-3任一项所述的测量仪，其特征在于：所述表面探测体（10）是通过其用于接触式检测待测对象表面的粗糙度或表面微结构轮廓的几何结构而确定的或起作用的探测体。 

14.根据权利要求13所述的测量仪，其特征在于：所述表面探测体（10）包括探针的针尖或构成为带有针尖的探针，或者包括球或包括刀刃。 

15.根据权利要求1-3任一项所述的测量仪，其特征在于：所述表面探测体是通过其电特性或通过其电磁特性为了非接触式检测待测对象表面的粗糙度或表面微结构轮廓而确定的或者有源或无源地起作用的探测体。 

16.根据权利要求15所述的测量仪，其特征在于：所述表面探测体是电容器、线圈或者是发射电磁射线的物体。