[实用新型]一种柱状隔垫物检查机

权利要求书

1.一种柱状隔垫物检查机，包括：用于对柱状隔垫物进行测量的测量模块，其特征在于，所述柱状隔垫物检查机还包括：

用于获取柱状隔垫物图像的图像采集模块；

用于将所述图像采集模块采集的图像与标准图像进行比对、获取柱状隔垫物测量位置与预设位置在Z轴方向的偏差值，并根据所述偏差值下发测量位置修正指令的处理模块；

用于根据所述处理模块的指令对所述柱状隔垫物测量位置进行Z轴位置修正的位置修正模块，所述位置修正模块与所述处理模块连接。

2.根据权利要求1所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述位置修正模块包括与所述图像采集模块连接的电容式位置传感器。

3.根据权利要求2所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述电容式位置传感器包括动极板和静极板，所述动极板与所述图像采集模块连接，其中，所述动极板和所述静极板具有第一状态和第二状态；

所述第一状态包括所述动极板在所述图像采集模块的带动下移动到第一位置，使得所述图像采集模块的测量位置位于定位精度范围内；

所述第二状态包括所述动极板在处理模块的控制下回位，并带动所述图像采集模块的测量位置回位。

4.根据权利要求3所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述图像采集模块包括用于获取柱状隔垫物的图像的扫描器，所述扫描器与所述动极板连接。

5.根据权利要求4所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述图像采集模块还包括：

用于采集第一干涉图形的图像采集镜头单元；

用于接收所述图像采集镜头模块发送的将所述第一干涉图形，并将所述第一干涉图形发送至所述扫描器的数字摄像头单元；

所述扫描器用于扫描采集第二干涉图形、并将所述第一干涉图形和所述第二干涉图形进行合成处理形成柱状隔垫物的图像。

6.根据权利要求5所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述位置修正模块还包括用于对柱状隔垫物测量位置的进行粗调的修正单元，所述修正单元与所述图像采集镜头单元连接。

7.根据权利要求1所述的柱状隔垫物检查机，其特征在于，所述柱状隔垫物检查机包括：

用于承载基板的基座；

可移动的设置在所述基座上的横梁；

所述测量模块、图像采集模块可移动的、并排设置在所述横梁上。