[实用新型]一种硅片装夹装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种在硅片研磨中使用的硅片装夹装置。

背景技术

在硅片加工过程中，需要将硅棒加工切割成硅片，硅片上会产生不规则的形状，为了不影响后续工作的质量，需要将硅片上的不规则边切除；而现有不规则硅片的去除方法是：先将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉，但是将硅片粘合在一起存在缺点：粘合在一起的硅片通过溶解或清洗的方法分开，硅片的破损率高，虽然在后序工作中通过清洗将胶液去除了，但是仍有残留有化合物，从而影响硅片表面的平整度。

发明内容

针对上述技术问题，本实用新型提供一种硅片装夹装置，其无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。

实现本实用新型的技术方案如下：

一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板，以及设置在容置槽上驱动压紧板的驱动机构，在容置槽的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板，以及固定设置在辅助压紧板左端面、容置槽内壁之间的弹性件。

所述容置槽的槽底开设有滑槽，压紧板、辅助压紧板的底端设置有与滑槽相配合的滑块，压紧板、辅助压紧板上的滑块能够在滑槽中滑动，从而保证压紧板、辅助压紧板的运动精度。

所述容置槽的左端内壁设置有固定板，所述固定板通过螺钉固定连接在容置槽上，弹性件固定设置在固定板与辅助压紧板之间。

所述驱动机构为驱动油缸，驱动油缸固定设置在容置槽上，压紧板固定连接在驱动油缸的活塞杆端部。

所述弹性件为弹簧或“Z”型弹片。

采用了上述方案，将硅片放置在容置槽中，驱动油缸的活塞杆推动压紧板向前移动，对硅片进行挤压，而辅助夹紧装置能够对硅片进行支撑，使夹紧的力度适合，不会因为压紧板的力量过大而导致硅片的损坏，同时也不会影响研磨工作的进行。本实用新型无需将硅片粘合在一起，从而保证了硅片的质量，确保硅片表面的平整度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中，1为容置槽，2为压紧板，3为驱动油缸，4为辅助压紧板，5为弹性件，6为滑槽，7为滑块，8为固定板，9为螺钉。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。

参见图1，一种硅片装夹装置，包括容放硅片的容置槽1，容置槽1的右端设置有夹紧装置，其包括设置在容置槽内能够在容置槽内来回移动的压紧板2，以及设置在容置槽1上驱动压紧板的驱动油缸3，驱动油缸3固定设置在容置槽1上，压紧板2固定连接在驱动油缸3的活塞杆端部，在容置槽1的左端设置有辅助夹紧装置，其包括能够在容置槽内来回移动的辅助压紧板4，以及固定设置在辅助压紧板4左端面、容置槽1内壁之间的弹性件5，弹性件5为弹簧或“Z”型弹片；容置槽1的槽底开设有滑槽6，压紧板2、辅助压紧板4的底端设置有与滑槽相配合的滑块7。容置槽1的左端内壁设置有固定板8，固定板8通过螺钉9固定连接在容置槽上，弹性件5固定设置在固定板8与辅助压紧板4之间。