[实用新型]反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置

说明书

技术领域

本实用新型属于运输包装技术领域，尤其涉及一种反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置。

背景技术

在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是反应烧结碳化硅质悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命，解决了其它材质悬臂桨易断裂，载重量小，成本高的问题。

目前，对碳化硅悬臂桨的运输包装大多采用纸箱加缓冲泡沫的方式，将纸箱中填充与碳化硅悬臂桨形状相适应的缓冲泡沫，然后将碳化硅悬臂桨固定在纸箱中，但是这种包装方式并不能有效的隔离运输过程中对碳化硅悬臂桨的震动和冲击，由于碳化硅悬臂桨的长度较长，很容易导致碳化硅悬臂桨发生断裂而报废，造成不必要的经济损失。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置，以解决悬臂桨在运输过程中由于震动和冲击易发生断裂而报废的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置，包括箱体和设置于所述箱体上方的箱盖，所述箱体底部设有若干个箱体弹簧，所述箱盖上对应每个所述箱体弹簧位置处设有箱盖弹簧，每个所述箱体弹簧和箱盖弹簧的端部均与用于放置碳化硅悬臂桨的纸箱连接，所述箱体弹簧和箱盖弹簧使所述纸箱在所述箱体内呈悬浮状态。

作为一种改进，所述箱体弹簧和箱盖弹簧分别设有四个，每个所述箱体弹簧对应所述纸箱底部的一角设置，相应的，每个所述箱盖弹簧对应所述纸箱顶部的一角设置。

作为进一步的改进，所述纸箱内设有固定区海绵、负载区海绵和封堵海绵，所述固定区海绵设置在所述碳化硅悬臂桨的固定区且与所述碳化硅悬臂桨的固定区形状相对应，所述负载区海绵设置在所述碳化硅悬臂桨的负载区且与所述碳化硅悬臂桨的负载区形状相对应，所述封堵海绵设置在所述碳化硅悬臂桨的两端部。

作为进一步的改进，所述固定区海绵包括固定部和插接部，所述插接部插接在所述固定部上；所述负载区海绵包括负载区固定部和负载区插接部，所述负载区插接部插接在所述负载区固定部上。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：由于反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置，在箱体底部设有若干个箱体弹簧，所述箱盖上对应每个所述箱体弹簧位置处设有箱盖弹簧，所述箱体弹簧和箱盖弹簧使所述纸箱在所述箱体内呈悬浮状态，箱体弹簧和箱盖弹簧缓冲了运输过程中产生的震动和冲击，有效避免了碳化硅悬臂桨发生断裂而报废，减震效果好；而且制造成本低，可多次重复利用。

由于所述纸箱内设有固定区海绵、负载区海绵和封堵海绵，因而固定区海绵、负载区海绵和封堵海绵对碳化硅悬臂桨起进一步缓冲作用。

由于所述固定区海绵包括固定部和插接部，所述负载区海绵包括负载区固定部和负载区插接部，使得所述固定区海绵和所述负载区海绵为分体结构，便于包装时放置碳化硅悬臂桨。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图；

图2是固定区海绵的结构示意图；

图3是图2中插接部的结构示意图；

图4是图2中固定部的结构示意图；

图5是负载区海绵的结构示意图；

图6是图5中负载区插接部的结构示意图；

图7是图5中负载区固定部的结构示意图；

图8是本实用新型实施例二的结构示意图；

图中：1、箱体，2、箱盖，3、箱体弹簧，4、箱盖弹簧，5、碳化硅悬臂桨，51、固定区，52、负载区，6、纸箱，7、固定区海绵，71、固定部，72、插接部，8、负载区海绵，81、负载区固定部，82、负载区插接部，9、封堵海绵。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

反应烧结碳化硅悬臂桨包装减震装置，包括箱体和设置于该箱体上方的箱盖，该箱体底部设有若干个箱体弹簧，该箱盖上对应每个该箱体弹簧位置处设有箱盖弹簧，每个箱体弹簧和箱盖弹簧的端部均与用于放置碳化硅悬臂桨的纸箱连接，纸箱中填充与碳化硅悬臂桨形状相适应的缓冲泡沫，该箱体弹簧和箱盖弹簧使该纸箱在该箱体内呈悬浮状态。