[实用新型]反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于反应烧结碳化硅悬臂桨生产设备技术领域，尤其涉及一种反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置。

背景技术

在太阳能光伏电池PN结扩散掺杂设备—扩散炉和半导体制造业中对硅晶圆片进行热生长氧化的高温氧化扩散炉中，悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是反应烧结碳化硅质悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命，解决了其它材质悬臂桨易断裂，载重量小，成本高的问题。

制造碳化硅悬臂桨过程中，需对烧结完成后的碳化硅悬臂桨进行性能检测，即需保证碳化硅悬臂桨在额定载重下不断裂以及保证其负载区形变量小于额定形变量，以满足碳化硅悬臂桨的使用要求，否则碳化硅悬臂桨在使用过程中容易发生断裂，导致安全隐患。但是，现有的性能检测装置结构复杂，制造成本高，给检测带来不便。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置，以解决现有的反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置结构复杂，制造成本高的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置，包括支架，所述支架上安装有用于装载所述碳化硅悬臂桨固定区的装载腔，所述装载腔的一侧面设有装载口，所述装载腔的顶部螺纹连接有竖向螺杆，所述竖向螺杆底端位于所述装载腔内且固定连接有用于增大与所述碳化硅悬臂桨固定区接触面积的压盘，所述竖向螺杆顶端伸出所述装载腔且固定连接有手柄；还包括用于检测所述碳化硅悬臂桨负载区端部形变量的位移传感器，所述位移传感器与终端控制器电连接。

作为一种改进，所述竖向螺杆设有两个且沿所述碳化硅悬臂桨的长度方向分布。

采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是：由于反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置设计了支架和装载腔，所述装载腔设计了装载口和竖向螺杆，所述竖向螺杆底端连接有压盘，顶端连接有手柄；还包括用于检测所述碳化硅悬臂桨负载区端部形变量的位移传感器，所述位移传感器与终端控制器电连接；检测时，将碳化硅悬臂桨的固定区从装载口伸入装载腔内，然后旋转手柄，使竖向螺杆上的压盘压紧碳化硅悬臂桨的固定区，然后将所述位移传感器安装在所述碳化硅悬臂桨的负载区端部，根据额定载重量，在碳化硅悬臂桨的负载区放置重物，对碳化硅悬臂桨的性能进行检测；结构简单，使用方便，制造成本低。

由于所述竖向螺杆设有至少两个且沿所述碳化硅悬臂桨的长度方向分布，使得碳化硅悬臂桨的固定可靠。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的左视图；

图3是本实用新型检测时的结构示意图；

图中：1、支架，2、碳化硅悬臂桨，21、固定区，22、负载区，3、装载腔，31、装载口，4、竖向螺杆，5、压盘，6、手柄，7、位移传感器，8、重物。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1至图3共同所示，反应烧结碳化硅悬臂桨性能检测装置，包括支架1，支架1上安装有用于装载碳化硅悬臂桨2的固定区21的装载腔3，装载腔3的一侧面设有装载口31，装载腔3的顶部螺纹连接有竖向螺杆4，竖向螺杆4底端位于装载腔3内且固定连接有用于增大与碳化硅悬臂桨2的固定区21接触面积的压盘5，竖向螺杆4顶端伸出装载腔3且固定连接有手柄6；还包括用于检测碳化硅悬臂桨2的负载区22的端部形变量的位移传感器7，位移传感器7与终端控制器电连接。

为了保证碳化硅悬臂桨2的固定可靠，竖向螺杆4设有两个且沿碳化硅悬臂桨2的长度方向分布。

为了避免当碳化硅悬臂桨2因不合格发生断裂时导致安全事故，装载腔3的底部距地面半米以内。

如图3所示，检测时，将碳化硅悬臂桨2的固定区21从装载口31伸入装载腔3内，然后旋转手柄6，使竖向螺杆4上的压盘5压紧碳化硅悬臂桨2的固定区21，然后将位移传感器7安装在碳化硅悬臂桨2的负载区22端部，根据额定载重量，在碳化硅悬臂桨2的负载区22放置重物8，对碳化硅悬臂桨的性能进行检测，承重时间超过一分钟后不断裂；位移传感器7将测量的最大形变量信号发送到终端控制器内，然后终端控制器判断最大形变量是否在额定形变量以内。