[实用新型]一种三凸梁式微机械加速度传感器

权利要求书

1.一种三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有第一锚区（11）、第二锚区（12）、第一敏感凸梁（21）、第二敏感凸梁（22）、第三敏感凸梁（23）、第一质量块（31）、第二质量块（32）、第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44），其连接关系是,所述的第二敏感凸梁（22）分别与第一质量块（31）、第二质量块（32）的一端连接，第一质量块（31）的另一端与第一敏感凸梁（21）连接，第二质量块（32）的另一端与第三敏感凸梁（23）连接，构成敏感芯片的可动部分；所述的第一压敏电阻（41）设置于第一敏感凸梁（21）上表面，第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）设置于第二敏感凸梁（22）上表面、第四压敏电阻（44）设置于第三敏感凸梁（23）上表面；可动部分的两端分别与第一锚区（11）、第二锚区（12）连接，构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。

2.根据权利要求l所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的第一敏感凸梁（21）、第二敏感凸梁（22）、第三敏感凸梁（23）结构相同，均采用长度相等的上矩形梁、下矩形梁复合而成。

3.根据权利要求2所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的第一敏感凸梁（21）、第二敏感凸梁（22）、第三敏感凸梁（23）中的上矩形梁的宽度小于下矩形梁的宽度，两者宽度之比为0.2～0.8。

4.根据权利要求2所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的下矩形梁的宽度与第一质量块（31）、第二质量块（32）的宽度相同。

5.根据权利要求2所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于，所述的下矩形梁的厚度与上矩形梁的厚度之比为0.2～5。

6.根据权利要求1所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于：第一敏感凸梁（21）、第二敏感凸梁（22）、第三敏感凸梁（23）的厚度与第一质量块（31）、第二质量块（32）的厚度相同。

7.根据权利要求1所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于，所述的第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44），其长度方向与敏感芯片的长度方向垂直。

8.根据权利要求1所述的三凸梁式微机械加速度传感器，其特征在于，所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板（5）之间的距离为2μm～20μm。