[实用新型]空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置

权利要求书

1.一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置，包括4f光学信息处理系统，该4f光学信息处理系统包括照明点光源、准直透镜、系统的输入平面、第一傅立叶变换透镜、频谱面、第二傅立叶变换透镜与系统的输出平面，其中输入平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离、频谱面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离，以及输出平面与相邻傅立叶变换透镜之间的距离均为f；其特征在于：在上述系统的输入平面上设置有待测棱镜，在频谱面上设置有一用于消弱零级频谱和滤除二级及以上频谱的低通振幅型滤波器，在系统的输出平面上设置有CCD探测器，CCD探测器与一计算机相连。

2.根据权利要求1所述的一种空气隙型偏光棱镜胶合误差的测量装置，其特征在于：上述低通振幅型滤波器包括中部开有透口的第一薄片、中部开有透口的第二薄片、垫片、振幅型滤光片与黑纸片；第一薄片和第二薄片由垫片隔开并固定，在第一薄片与第二薄片之间形成置入腔，使用隔条将置入腔分隔成第一置入腔与第二置入腔，对应第一置入腔的薄片上透口区域小于对应第二置入腔的薄片上透口区域，振幅型滤光片插入第一置入腔，黑纸片插入第二置入腔。