[实用新型]一种储液加热桶

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备领域，具体是一种储液加热桶。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)即等离子体增强化学气相沉积法，是一种借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，在基片上沉积出所期望的薄膜的方法。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。

在太阳能电池生产过程中，PECVD作为其中的一道工序，主要用来给太阳能电池硅片镀减反射膜，而石墨舟的作用是PECVD中的硅片承载装置。在镀膜的过程中，PECVD在给硅片镀膜的同时，也会有同样的物质淀积在石墨舟上，所以石墨舟需要经常清洗。传统的石墨舟清洗机的清洗过程是在常温下进行的，不能清洗干净，而且清洗后的去离子水直接排掉，浪费去离子水，而且现在市场上的石墨舟清洗设备又没有专门的去离子水加热功能。

发明内容

本实用新型针对以上技术问题，提供一种可以对石墨舟清洗设备上所用的去离子水进行加热，同时可以将经过加热后的去离子水通过过滤泵送入到石墨舟清洗槽中的储液加热桶。

本实用新型通过以下技术方案来实现。

一种储液加热桶，包括桶体、入水口、加热块、过滤泵、出水管，其特征在于桶体底部设置有加热块、过滤泵，加热块位于过滤泵上侧，入水口设置在桶体上部，过滤泵外接出水管。入水口内径大于过滤泵。

实际使用中，先通过入水口注入足量去离子水，然后将入水口连接到石墨舟清洗槽的出水通道上，然后再将出水管连接到石墨舟清洗槽的入水通道上，启动石墨舟清洗设备前，先进行预热即可。

本实用新型结构简单，使用方便，通过加热去离子水，提高了去离子水的清洗效果，而且通过过滤泵对去离子水进行循环使用，节约了能源。

附图说明

附图中，图1是本实用新型结构示意图，其中：

1-桶体，2-入水口，3-加热块，4-过滤泵，5-出水管。

具体实施例

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

一种储液加热桶，包括桶体1、入水口2、加热块3、过滤泵4、出水管5，其特征在于桶体1底部设置有加热块3、过滤泵4，加热块3位于过滤泵4上侧，入水口2设置在桶体1上部，过滤泵4外接出水管5。入水口2内径大于过滤泵4。

实际使用中，先通过入水口2注入足量去离子水，然后将入水口2连接到石墨舟清洗槽的出水通道上，然后再将出水管5连接到石墨舟清洗槽的入水通道上，启动石墨舟清洗设备前，先进行预热即可。

本实用新型结构简单，使用方便，通过加热去离子水，提高了去离子水的清洗效果，而且通过过滤泵4对去离子水进行循环使用，节约了能源。