[实用新型]三英寸镀镍硅片用不锈钢烧结花篮

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片用花篮，具体涉及一种三英寸镀镍硅片用不锈钢烧结花篮。

背景技术

目前扩散硅片在一次镀镍后要进行烧结,以使表面镍层与硅在高温下形成Ni-Si合金,然后再进行二次镀镍。一、二次镀镍硅片置于塑料花篮内，每花篮25片。烧结硅片用工装为不锈钢烧结花篮，烧结前要将待烧结硅片从塑料花篮转入不锈钢烧结花篮，烧结完成后再将硅片转入二次镀镍用塑料花篮作二次镀镍。烧结使用的不锈钢花篮规格为30片，转换使用的塑料花篮规格为25片，不锈钢花篮与塑料花篮转换操作时差出5片须手工夹取，影响生产效率。且每炉放置2花篮60片烧结，烧结炉恒温区尚存有较大余量，恒温区没有充分利用，造成能源浪费。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提出了一种三英寸镀镍硅片用不锈钢烧结花篮,转换硅片时方便，提高工作效率，充分利用烧结炉恒温区，节省能源。

为了达到上述发明目的，本实用新型提出了以下技术方案：

三英寸镀镍硅片用不锈钢烧结花篮，它包括篮体、底框、提手框和防护框，篮体上开有卡槽，篮体两侧上端连有提手框，底框连接在篮体下面，防护框位于篮体外侧中间，且连接在篮体两边，篮体上端向外张开，篮体上卡槽数量为25个。

所述的底框中间横向连接有横梁。

  本实用新型的优点是：

1）由原每花篮装片30片改为25片，与烧结前后塑料花篮配对转换，提高了工艺操作性和生产效率。

2）充分利用了烧结炉恒温区长度，原每炉两花篮60片，现每炉3花篮75片，生产效率可提高25%，同时节约电能25%。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型进一步的说明，下面结合说明书附图来介绍：

参照附图1，三英寸镀镍硅片用不锈钢烧结花篮，它包括篮体1、底框2、提手框3和防护框4，篮体上开有卡槽5，篮体1两侧上端连有提手框3，底框2连接在篮体1下面，防护框4位于篮体1外侧中间，且连接在篮体1两边，篮体1上端向外张开，篮体1上卡槽5数量为25个。

所述的底框2中间横向连接有横梁6。