[实用新型]一种基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，其特征在于，具体包括：检查部、测量部和判定部； 

所述检查部与所述测量部并列设置，其中所述检查部用于对所述基板进行检查并检出缺陷，包括图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架，所述图像采集模块获取基板的灰度值； 

所述测量部用于对所述基板的缺陷进行测量，包括图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架，所述图像测量模块获取基板的特性值； 

所述判定部分别与所述检查部和所述测量部连接，所述检查部根据灰度值确定缺陷位置，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部对所述缺陷位置进行特性值测量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根据所述缺陷位置特性值判定缺陷的等级。 

2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括： 

机台，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述机台之上； 

所述第一支架和/或所述第二支架均包括两根支脚和一根支撑杆，所述支撑杆的两端与所述两根支脚的上端固定连接，所述两根支脚的下端固定安装在所述机台上，所述图像采集模块设置于所述第一支架的支撑杆上，所述图像测量模块设置在所述第二支架的支撑杆上。 

3.根据权利要求1或2所述的基板检测装置，其特征在于，所述判定部包括通信模块和判定模块，所述通信模块分别与所述检查部的图像采集模块和所述测量部的图像测量模块连接。 

4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集模块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模 块包括至少一个电荷耦合元件图像传感器。 

5.根据权利要求4所述的基板检测装置，其特征在于，所述图像采集模块包括三个电荷耦合元件图像传感器，所述图像采集模块固定设置于所述第一支架的支撑杆上；所述图像测量模块包括一个电荷耦合元件图像传感器，所述图像测量模块可移动地设置于所述第二支架的支撑杆上，所述图像测量模块可以沿所述第二支架的支撑杆移动。 

6.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括： 

传输单元，平行设置于所述机台上，能在所述机台上进行前后移动，用于承载和传输待检测基板。 

7.根据权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述机台周边设置有标尺，所述机台上的标尺与放置在所述传输单元上的基板边缘进行比对，建立基板坐标和机台坐标的对应关系。 

8.根据权利要求4所述的基板检测装置，其特征在于，所述检查部中的电荷耦合元件图像传感器获取所述基板的图像，根据所述缺陷位置的灰度值与所述基板正常区域的灰度值之间的差异确定缺陷位置，并将所述缺陷位置和所述缺陷位置的灰度值通过所述通信模块发送给所述判定模块。 

9.根据权利要求8所述的基板检测装置，其特征在于，所述判定部将所述缺陷位置信息传输给所述测量部，所述测量部中的电荷耦合元件图像传感器对所述缺陷位置进行特性值测量，得到所述缺陷位置特性值，并将所述缺陷位置特性值再通过所述通信模块发送给所述判定模块。 

10.根据权利要求8或9所述的基板检测装置，其特征在于，所述判定模块根据所述缺陷位置特性值和所述基板上正常区域的特性值之间的差异确定缺陷等级，并根据所述缺陷位置的灰度值与所述 缺陷位置特性值的对应关系建立数据库，所述数据库中的缺陷位置特性值与所述缺陷等级具有匹配关系。