[实用新型]气体反应连续腔

权利要求书

1.一种气体反应连续腔，其特征在于，包含有：

至少三腔室及至少四隔离装置，各个该腔室位于二该隔离装置之间，藉以使该数个腔室能呈气密状态；以及

一输送装置，位于该数个腔室及该数个隔离装置内，该输送装置具有一前端、一后端以及能供该隔离装置穿过的至少四空隙，该输送装置是用以设置一受反应物，并带动该受反应物朝向该前端移动进而通过该数个腔室；

其中，该数个腔室包含有依序排列的一预热腔室、一反应腔室及一冷却腔室，该预热腔室、该反应腔室及该冷却腔室分别设置一位于该输送装置上方的上加热器，用以朝向该受反应物的一顶面作用而调整该受反应物的温度，该反应腔室及该冷却腔室分别具有一反应气体输入口。

2.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于，该反应腔室更设置一遮盖装置，该遮盖装置包含有一顶高单元以及一设于该顶高单元的盖体，该盖体能受该顶高单元带动而于一顶高位置与一遮盖位置之间移动，该盖体位于该顶高位置时与该输送装置相隔可供该受反应物通过的距离，该盖体位于该遮盖位置时盖设于该受反应物的顶面，且该盖体与该受反应物的顶面之间形成一反应空间。

3.根据权利要求2所述的气体反应连续腔，其特征在于该遮盖装置的盖体的材质为石英玻璃。

4.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于各个该隔离装置包含有一气密阀门及一风刀单元二者至少其中之一。

5.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于该输送装置包含有数个平行排列且能旋转的圆柱。

6.根据权利要求5所述的气体反应连续腔，其特征在于该数个圆柱的材质为石英陶瓷。

7.根据权利要求1所述气体反应连续腔，其特征在于该预热腔室、该反应腔室及该冷却腔室更分别设置一位于该输送装置下方的下加热器，各个该下加热器透过该输送装置空隙而朝向该受反应物的一底面作用而调整该受反应物的温度。

8.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于该输送装置亦能带动该受反应物朝向该后端移动。

9.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于该反应腔室及该冷却腔室之间更有另一反应腔室。

10.根据权利要求1所述的气体反应连续腔，其特征在于该反应腔室及该冷却腔室之间更有另一冷却腔室。