[实用新型]涂布系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体地，涉及一种涂布系统。 

背景技术

在液晶面板等显示面板的制造过程中，在形成阵列基板上的各种图形（例如，栅线、数据线、薄膜晶体管的栅极、源极、漏极以及有源层等）时，光刻是非常重要的一步。光刻是利用涂布系统在金属薄膜或非金属薄膜上涂敷一层光刻胶，然后曝光显影，形成所需的图形。 

图1中所示的是常见的涂布系统的示意图，所述涂布系统包括装载台20和悬置在装载台20上方的喷嘴10。通常，喷嘴10由两块不锈钢板拼接而成，在两块不锈钢板之间形成有间隙，光刻胶从间隙中流出。在进行喷涂时，将基板70设置在装载台20的上表面上，从喷嘴10中喷出的光刻胶喷涂在基板70上。 

最初始时，喷嘴10的下端面是平面，如图2所示，喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离是相等的（图2中都为d）。由于喷嘴10自身重量较大，随着涂布系统的使用，喷嘴10可能会产生弯曲，使得喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离并不一定相等（例如，在图3中，喷嘴10的下端面的中间部分与基板70的上表面之间的距离为d₁，而喷嘴10的下端面的两侧与基板70的上表面之间的距离则分别为d₂和d₃）。喷嘴10的下端面各处与基板70的上表面之间的距离不相等可能会导致喷涂在基板70上的光刻胶喷涂不良（主要是厚薄不均），从而会影响到后续的曝光、显影等工序。 

因此，如何防止喷涂在基板上的光刻胶产生喷涂不良成为本领域亟待解决的技术问题。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种涂布系统，利用该涂布系统向设在在装载台上的基板喷涂光刻胶时，可以使得防止所述基板上光刻胶喷涂不良。 

为了实现上述目的，本实用新型提供一种涂布系统，该涂布系统包括用于承载基板的装载台，以及用于对所述基板进行涂覆的长条状的喷嘴；其中，所述涂布系统还包括报警装置和位置检测装置，该位置检测装置用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，所述报警装置与所述位置检测装置电连接，且所述报警装置设置为当所述位置检测装置检测到所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时发出报警信号。 

优选地，所述报警装置包括控制单元和报警信号发出单元，所述控制单元和所述位置检测单元分别电连接，所述控制单元能够接收所述位置检测装置发出的位置信号，并当所述控制单元根据该位置信号判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化时，所述控制单元控制所述报警信号发出单元发出所述报警信号。 

优选地，所述位置检测装置包括至少一个第一位置检测单元，该第一位置检测单元用于检测所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置，并向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当任意一个所述第一位置检测单元发出的位置信号与预定位置不一致时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分的位置发生变化。 

优选地，所述位置检测装置包括多个第二位置检测单元，该多个第二位置检测单元沿所述喷嘴的长度方向设置以分别检测所述喷嘴的不同部位的下端面的位置，多个所述第二位置检测单元能够分别将检测到的位置信号传递给所述控制单元，所述控制单元能够将多个所述第二位置检测单元发送的位置信号进行比较，并且能够在多个所述第二位置检测单元发送的所述位置信号不同时判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。 

优选地，所述位置检测装置包括光信号发射件和光信号接收件，所述喷嘴设置在所述光信号发射件和所述光信号接收件之间，所述光信号接收件与所述控制单元电连接，以向所述控制单元发出位置信号，所述控制单元设置为当所述光信号发射件发射出的光信号被所述喷嘴阻挡而未到达所述光信号接收件时，所述控制单元判定所述喷嘴的下端面的至少一部分位置发生变化。 

优选地，所述光信号发射件固定设置在所述装载台上； 

所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的长度方向上的两侧，或者所述光信号发射件和所述光信号接收件分列于所述喷嘴的宽度方向的两侧。 

优选地，当所述光信号发射件和/或光信号接收件通过第一导轨设置在所述装载台上，使得所述光信号发射件和/或所述光信号接收件能够沿着所述喷嘴的长度方向移动。