[实用新型]一种基于微机械电子技术的微波移相器

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子机械领域，特别是涉及一种基于微机械电子技术的微波移相器。

背景技术

移相器能对波的相位进行调整，在雷达、导弹姿态控制、加速器、通信、仪器仪表甚至于音乐等领域都有着广泛的应用。运用移相器能保障电压稳定性，不因联络线连锁跳闸、相继退出而遭到破坏，可以明显提高电压稳定极限。其工作原理根据不同的构成而存在差异，如晶体管电路，可在输入端加入一个控制信号来控制移相大小；在有些电路中则利用阻容电路的延时达到移相；在单片机控制系统还可利用内部定时器达到移相的目的。

现有技术中的数字移相器，它通过静电力控制MEMS bridge的上下位置来改变传输线的分布参数电容，从而改变输入信号的相位，如图4所示。由于MEMS bridge只有上下两种状态，导致现有技术的移相器只能实现有限的相位状态，若要实现多个相位状态，则需要多个控制端口，不仅控制复杂，且使得移相器的结构变得复杂，在加工时，采用硅表面加工技术，工艺复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简单、加工工艺简单的基于微机械电子技术的微波移相器，它能实现相位的连续变化，同时仅需四个控制端口就能实现无限个相位状态，控制简单方便。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种基于微机械电子技术的微波移相器，它包括分布参数传输线、电容驱动器和介质基片，传输线设于介质基片上端。分布参数传输线包括信号线、第一接地线、第二接地线和交指电容，信号线设置在第一接地线和第二接地线之间，信号线的两端分别设有信号输入端和信号输出端，信号线和接地线之间还设有交指电容，交指电容均匀的加载在信号线与接地线之间。电容驱动器设于介质基片上，电容驱动器一端通过U型梁与分布参数传输线的地相连，另一端与驱动电源相连。

进一步的，所述的分布参数传输线为信号线周期加载交指电容，所述的电容驱动器为梳子电容驱动器。

进一步的，所述的介质基片为硅基片。

进一步的，所述的梳子电容驱动器为四个，四个梳子电容驱动器对称设置在分布参数微机械传输线的左右两侧。

进一步的，所述微波移相器的加工采用硅体加工工艺。

本实用新型的有益效果是：

（1）通过梳子电容驱动器产生静电力，使分布参数微机械传输线的地发生位移，进而使交指电容的电容量发生相应的变化，信号的相位也发生改变，当驱动电压连续变化时，输出的信号相位的连续变化，从而实现相位的连续变化，同时也能实现无限个相位状态；

（2）分布参数传输线是通过周期加载交指电容，能实现多个相位状态，且能实现模拟式移相器，加工简单；

（3）仅通过四个控制端口，即梳子电容驱动器，就能实现无限个相位状态，结构简单，控制简单且方便；

（4）微波移相器的加工工艺采用硅体加工工艺，工艺简单。

附图说明

图1为本实用新型的结构图；

图2为图1的A-A方向剖视图；

图3为分布参数微机械传输线的原理图；

图4为现有的移相器的结构图；

图5为本实用新型工作时的结构图；

图中，1-分布参数传输线，2-介质基片，3-梳子电容驱动器，4-第二接地线，5-信号输出端，6-信号输入端，7-信号线，8-交指电容，9-U型梁，10-第一接地线。

具体实施方式

下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1、图2所示，一种基于微机械电子技术的微波移相器，它包括分布参数传输线1、电容驱动器3和介质基片2，传输线1设于介质基片2上端。分布参数传输线1包括信号线7、第一接地线10、第二接地线4和交指电容8，信号线7设置在第一接地线10和第二接地线4之间，信号线7的两端分别设有信号输入端6和信号输出端5，信号线7和接地线之间还设有交指电容8，交指电容8均匀的加载在信号线7与接地线之间。电容驱动器3设于介质基片2上，电容驱动器3一端通过U型梁9与传输线1的接地线相连，另一端与驱动电源相连。

进一步的，所述的分布参数传输线1采用信号线周期加载交指电容8，所述的电容驱动器3为梳子电容驱动器。

进一步的，所述的介质基片2为硅基片。

进一步的，所述的梳子电容驱动器3为四个，四个梳子电容驱动器对称设置在分布参数微机械传输线1的左右两侧。

进一步的，所述微波移相器的加工采用硅体加工工艺，工艺简单。