[实用新型]多晶硅铸锭炉用石墨坩埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉用石墨坩埚技术领域。

背景技术

现有使用的多晶硅铸锭炉，其用于支撑石英坩埚的石墨坩锅都是由四块侧板与一块底板组合而成，当发生硅液溢出时，硅液在平坦的石墨坩埚底板上可以往四处任意流动。由于硅液溢出是一种工艺事故，须及时发现并采取相应措施处理，而硅液的不确定流向延长了事故的报警时间，极易引发更为严重的后果。    

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，当发生硅液泄漏时，硅液能够快速的从石墨坩埚中流出，从而出发报警装置，避免引发泄漏事故。

本实用新型采用的技术方案是提供一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，它包括底板、四个侧板、螺钉、四个侧底端还开有数量不少于4个半圆孔；每个侧板通过螺钉固定在底板上；底板四周开有沟槽、底板的四个边缘还设有滴漏槽，滴漏槽位置和半圆孔的位置对应；其特征在于沟槽为波浪形，每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板的半圆孔；沟槽的波浪形波谷个数和半圆孔数量相等；沟槽的波谷开有流出槽，流出槽与滴漏槽相接。

更进一步，本技术方案所涉及的底板上开有的沟槽为波浪形，目的是硅液从多晶硅铸锭炉中泄漏出来后，在石墨底板上流动，进入沟槽，沟槽的波浪形结构能够快速的汇聚泄漏的硅液，然后硅液从沟槽波浪形波谷的流出槽中流出，途径侧板的半圆孔、底板的滴漏槽，硅液从滴漏槽滴漏后，报警泄漏线，引发报警。本实用新型提出的沟槽区别于现有底板的平直沟槽，硅液可以更快的从沟槽内流出，减少了事故发生到引起警报的时间。

更进一步，本实施例中所述的沟槽的波浪形波谷，开有流出槽，流出槽的目的是在沟槽的波浪形最低处相接，以保证有足够的硅液在沟槽中汇集后，再流出。本实施例和传统的底板沟槽的区别在于在硅液先汇聚到沟槽的波浪形波谷在通过流出槽流出，这样硅液就不会从流出槽流出时时断时续。

本实用新型所产生的有益效果是多晶硅铸锭炉用石墨坩埚在使用 ，当发生硅液泄漏后，硅液能够快速的从石墨坩埚中流出，从而出发报警装置，避免引发泄漏事故。

附图说明

图1是本实用新型的多晶铸锭炉石墨坩埚的顶视图；

图2是本实用新型的晶铸锭炉石墨坩埚侧板的前视图；

图3是本实用新型底板沟槽的剖面图。

图中，1底板、11沟槽、12流出槽、13滴漏槽、2侧板、21半圆孔、3螺钉。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1实施例所示多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，它包括底板1、四个侧板2、螺钉3、四个侧2底端还开有数量不少于4个半圆孔21；每个侧板2通过螺钉3固定在底板1上；底板1四周开有沟槽11、底板1的四个边缘还设有滴漏槽12，滴漏槽12位置和半圆孔21的位置对应；其特征在于沟槽11为波浪形，每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板2的半圆孔21；沟槽11的波浪形波谷个数和半圆孔数量相等；沟槽的波谷开有流出槽13，流出槽13与滴漏槽12相接。

更进一步，本实用新型所述的底板1上开有的沟槽11为波浪形，目的是硅液从多晶硅铸锭炉中泄漏出来后，在石墨底板上流动，进入沟槽11，沟槽11的波浪形结构能够快速的汇聚泄漏的硅液，然后硅液从沟槽11波浪形波谷的流出槽13中流出，途径侧板2的半圆孔21、底板1的滴漏槽12，硅液从滴漏槽滴漏后，报警泄漏线，引发报警。本实用新型提出的沟槽11区别于现有底板的平直沟槽，硅液可以更快的从沟槽内流出，减少了事故发生到引起警报的时间。

更进一步，本实施例中所述的沟槽11的波浪形波谷，开有流出槽13，流出槽13的目的是在沟槽11的波浪形最低处相接，以保证有足够的硅液在沟槽11中汇集后，再流出。本实施例和传统的底板沟槽的区别在于在硅液先汇聚到沟槽11的波浪形波谷在通过流出槽流出，这样硅液就不会从流出槽13流出时时断时续。

    本实用新型所产生的有益效果是多晶硅铸锭炉用石墨坩埚在使用时，当发生硅液泄漏后，硅液能够快速的从石墨坩埚中流出，从而出发报警装置，避免引发泄漏事故。