[实用新型]一种双等离子体离子源及设备

权利要求书

1.一种双等离子体离子源，其特征在于，所述双等离子体离子源的中间电极的锥形的一端的顶部设有多个中间电极孔，所述多个中间电极孔的半径位于0.2mm-0.3mm范围内，其圆心位于以所述中间电极的锥形的一端的顶部中心为圆心、半径为0.5mm的圆上。

2.如权利要求1所述的双等离子体离子源，其特征在于，还包括位于所述双等离子体离子源的抽取电极内部的空心部分、控制离子束的飞行路径的偏转板；所述偏转板通过绝缘部件固定于所述抽取电极内部的空心部分，由四个互不相连的矩形极板构成，且四个极板以所述抽取电极的轴线对称分布，四个极板两两一组，每组两个极板平行，两组间的的任意两个极板之间垂直，并且所述四个极板在所述抽取电极的轴线上的投影位置相同。

3.如权利要求2所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述绝缘部件为陶瓷片。

4.如权利要求1所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述多个中间电极孔具体为四个，其半径为0.3mm。

5.如权利要求1或4所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述多个中间电极孔均匀分布。

6.如权利要求1所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述中间电极的锥形的一端的顶部和阳极电极之间的距离位于2mm-3mm范围内。

7.如权利要求6所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述中间电极的锥形的一端的顶部和阳极电极之间的距离具体为2.5mm。

8.如权利要求1所述的双等离子体离子源，其特征在于，所述双等离子体离子源的磁场源为电磁铁。

9.一种质谱仪，其特征在于，包括如权利要求1-8任一所述的双等离子体离子源。