[实用新型]基于微机械直接热电式功率传感器的分频器

权利要求书

1.基于微机械直接热电式功率传感器的分频器，其特征在于：包括衬底（1）、设置在衬底（1）上的地线（2）、MEMS功合器、共面波导传输线（3）、两组MEMS固支梁结构和MEMS直接热电式微波功率传感器、以及外接的压控振荡器和乘法器，在衬底（1）上定义一条对称轴线；

所述地线（2）形成沿对称轴线对称的结构，包括对称位于对称轴线两侧且不相接触的两段侧边地线、以及对称位于对称轴线上的一段公共地线；

所述MEMS功合器形成沿对称轴线对称的结构，包括对称位于对称轴线两侧的两段不对称共面带线（4）和隔离电阻（5），所述两段不对称共面带线（4）的输入端通过隔离电阻（5）隔离、输出端相连接；

所述共面波导传输线（3）形成沿对称轴线对称的结构，包括位于对称轴线两侧且不相连接的两段输入共面波导传输线、以及对称位于对称轴线上的一段输出共面波导传输线；所述两段输入共面波导传输线分别与两段不对称共面带线（4）的输入端相连接，分别作为参考信号输入端口和反馈信号输入端口；所述两段不对称共面带线（4）的输出端相连接后接入输出共面波导传输线，作为信号输出端口；

所述两组MEMS固支梁结构分别设置在对称轴线的两侧且相对对称轴线对称，所述MEMS固支梁结构包括MEMS固支梁（10）和锚区（11），所述MEMS固支梁（10）跨接在位于同一侧的输入共面波导传输线的上方、两端分别通过锚区（11）固定在位于同一侧的侧边地线和公共地线上；所述MEMS固支梁（10）和位于其下方的输入共面波导传输线构成补偿电容；

所述MEMS直接热电式微波功率传感器包括两组氮化钽电阻（7）、半导体热电偶臂（6）和直流输出块（8），所述信号输出端口分成两路分别通过一组氮化钽电阻（7）和半导体热电偶臂（6）与两段侧边地线相连接，其中一段侧边地线通过一个直流输出块（8）接入压控振荡器，另一段侧边地线通过另一个直流输出块（8）接地；所述两组氮化钽电阻（7）和半导体热电偶臂（6）形成串联结构；

所述压控振荡器的输出信号接入乘法器后产生的倍频信号接入反馈信号输入端口。

2.根据权利要求1所述的基于微机械直接热电式功率传感器的分频器，其特征在于：所述输入共面波导传输线上位于MEMS固支梁（10）下方的部分表面覆盖有氮化硅介质层（9）。

3.根据权利要求1所述的基于微机械直接热电式功率传感器的分频器，其特征在于：其中一个直流输出块（8）和侧边地线之间的连接线的两层金属之间有氮化硅介质层（9）。

4.根据权利要求1所述的基于微机械直接热电式功率传感器的分频器，其特征在于：所述MEMS直接热电式微波功率传感器基于Seebeck原理对MEMS功合器输出的合成微波信号的功率进行检测，并在直流输出块（8）上以直流电压的形式输出测量结果。