[实用新型]高纯度三氯氧磷安全供料系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种三氯氧磷安全供料设备，尤其是在太阳能电池片扩散工艺中使用的高纯度三氯氧磷安全供料设备。

背景技术

高纯度三氯氧磷（99.9999%~99.99999%）是太阳能电池片制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于太阳能电池片的N型掺杂，它的纯度和洁净度对太阳能电池片的成品率，电性能及可靠性都有着十分重要的影响，但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。中国专利CN202546241U公开了一种高纯度三氯氧磷安全供料系统，其结构是：恒温箱内的高纯度三氯氧磷储运罐连接有氮气进气管和氮气出气管，恒温箱上有温度数显仪表，氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储运罐的底部，另一端连接有氮气阀。上述系统彻底杜绝了高纯度三氯氧磷遇水产生的爆炸危险，提高了高纯度三氯氧磷使用过程中的安全性，减少了高纯度三氯氧磷使用方的生产、维护成本和高纯度三氯氧磷供应方的物流成本，但是该系统的缺陷是无法对高纯度三氯氧磷的使用现场实行远程监控和物料液位的精确监控；无法对高纯度三氯氧磷出现泄漏时及时报警和处理；当人为误操作时（开启氮气气阀门没有开启出气阀门）发生氮气泄压无法进行处理，因此，存在着各种生产安全隐患，生产安全性和工作效率不高。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、安全可靠、高效率、无泄漏、无污染、使用方便、运行成本低的高纯度三氯氧磷安全供料系统。        

本实用新型的目的这样实现的：供料装置上有温度数显仪表，供料装置内有高纯度三氯氧磷储罐，连接有氮气进气阀的氮气进气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐底部，在供料装置外的另一端连接有氮气阀，连接有氮气出气阀的氮气出气管一端插入高纯度三氯氧磷储罐顶部，另一端在在供料装置外，供料装置上设置有尾气自动排风口，供料装置内壁的上部安装有高纯度三氯氧磷气体泄漏检测报警器，内壁的中部安装有视频监控摄像头，内壁的下部安装有低液位监测报警器，并与供料装置上的电脑端口连接，供料装置内底部装有LED照明灯，供料装置的正面有观察窗。

供料装置内的氮气进气管上连接有泄压阀。

供料装置内的氮气进气管和氮气出气管之间连接有泄压阀。

由于本实用新型采用以上结构，增强了操作使用的连续性和智能化控制；解决了高纯度三氯氧磷使用时在意外情况下出现泄漏时的报警及处理措施；解决了在人为误操作时（开启氮气气阀门没有开启出气阀门）氮气泄压问题；解决了高纯度三氯氧磷使用时的现场及远程监控、物料液位监控问题。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的结构示意图。

图2为本实用新型第二实施例的结构示意图。

图中1供料装置、2高纯度三氯氧磷储罐、3温度数显仪表、4氮气进气管、5氮气出气管、6氮气进气阀、7氮气出气阀、8氮气阀、9低液位监测报警器、10高纯度三氯氧磷气体泄漏检测报警器、11尾气自动排风口、12泄压阀、13电脑端口、14视频监控摄像头、15LED照明灯、16观察窗。

具体实施方式

第一实施例：供料装置1上有温度数显仪表3，供料装置1内有高纯度三氯氧磷储罐2，连接有氮气进气阀6的氮气进气管4一端插入高纯度三氯氧磷储罐2底部，在供料装置外的另一端连接有氮气阀8，连接有氮气出气阀7的氮气出气管5一端插入高纯度三氯氧磷储罐2顶部，另一端在在供料装置1外，供料装置1上设置有尾气自动排风口11，供料装置1内壁的上部安装有高纯度三氯氧磷气体泄漏检测报警器10，内壁的中部安装有视频监控摄像头14，内壁的下部安装有低液位监测报警器9，并与供料装置1的电脑端口13连接，供料装置的正面有观察窗16，供料装置1内的氮气进气管4上连接有泄压阀12，供料装置内底部装有LED照明灯15。

供料装置1依靠空气作为热交换介质，恒定温度的精确度在±0.1℃、均匀度在0.3℃，能精确地恒定温度。高纯度三氯氧磷储罐2罐体和阀门均为高纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）材质，阀门采用旋塞阀、阀门与管道采用扩口连接，密闭性好，操作简便、阀位指示明确。高纯度三氯氧磷储罐2中氮气进气管4一端插入高纯度三氯氧磷储罐2底部，另一端连接有氮气阀8，之间接有泄压阀12，泄压出的氮气进入装置排风系统，在使用过程中即使出现误操作也不会造成高纯度三氯氧磷储罐2罐体或阀门的损坏。供料装置1内设置三氯氧磷气体泄漏检测报警10器、低液位监测报警器9、视频监控摄像头10、LED照明灯15，可远程观察物料的使用情况，实现在线集中监测。