[实用新型]一种多晶硅制造设备有效
| 申请号： | 201320348352.7 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN203419747U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李波;金越顺;朱烨俊 | 申请（专利权）人： | 浙江精功新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 制造 设备 | ||
1.一种多晶硅制造设备，包括底盘（1）、钟罩（2）和封盖（3），所述的底盘（1）、封盖（3）都为双层结构，底盘（1）和封盖（3）上都设有冷却液进口（4）和冷却液出口（5），其特征是，所述的钟罩（2）的中心设有若干电极（6），电极（6）的下端与底盘（1）固定，电极（6）的上端连接有竖直的硅芯（7），每根硅芯（7）的外侧都套设有冷却夹套（8），冷却夹套（8）包括内夹套（81）和外夹套（82），所述的内夹套（81）和外夹套（82）的上端连通下端隔离，所述的内夹套（81）的下端设有冷却液进口，外夹套（82）的下端设有冷却液出口，底盘（1）上还设有进气管（13）和出气管（14）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅制造设备，其特征是，所述的钟罩（2）内位于冷却夹套（8）与钟罩（2）内壁之间的环形空腔内设有冷却器（9），冷却器（9）的下端连接有过滤器（10）。
3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅制造设备，其特征是，底盘（1）的上侧中心设有隔离管（11），隔离管（11）的上端与冷却夹套（8）连接，隔离管（11）的下端与底盘（1）上表面连接，隔离管（11）内设有气体分布板（12），气体分布板（12）上设有进气孔。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅制造设备，其特征是，进气管（13）的内端与隔离管（11）内部的空腔连通，出气管（14）的内端与隔离管（11）外部的空腔连通。
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