[实用新型]储存柜充气系统的无线监控系统

说明书

技术领域

本实用新型关于一种无线监控系统，特别是指一种储存柜充气系统的无线监控系统。

背景技术

电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，而欲满足这个产品发展的方向，用于电子产品中的核心芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。受到集成电路微细化及制低成本的影响，晶圆的尺寸越来越大，但每一晶圆的芯片数越来越多，使晶圆价值不断的提高，因此制作工艺中晶圆上的任何问题都可能造成极大的损失。

但目前晶圆/光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，不论是容置于晶圆/光罩的移转容器或无尘室的环境中，均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于晶圆或光罩的表面，且在经长时间储存或曝光制作工艺的加热后，会于晶圆或光罩的表面产生微粒附着、结晶或雾化等现象，以光罩应用于黄光微影制作工艺为例，其会直接影响到光罩的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成晶圆合格率降低的现象，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对也会提高营运的成本。

因此，为了解决这个问题，在半导体制作工艺中，运用自动化物料搬运系统（Automated Material Handling System，AMHS），与隔离进出料标准机械接口（Standard Mechanical Interface，SMIF）设备，进行光罩于不使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升光罩的洁净度，达到超高的生产合格率，故近年来，AMHS与SMIF已被列为是国际上半导体厂的标准设备规范。

根据上述技术概念，除了在曝光使用时，晶圆与光罩在运送过程或保存期间，都必须将晶圆或光罩放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出（Outgassing）的密封式载具内，如晶圆传送盒（FOUP）、晶圆运输盒（FOSB）、光罩传送盒（Reticle SMIF Pod，RSP），例如美国专利第US 4,532,970号与美国专利第US 4,534,389号的晶圆、光置密闭移转系统，可有效防止晶圆与光罩受到污染，以确保周圆环境的微粒不致进入紧邻光罩与晶圆的环境中。而为了提高前述密封式载具的洁净度，通常会在前述密封式载具内充填干净的惰性气体（如氮气(N₂)），以减少有害气体的危害；然而，受限于载具气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步在该等密封式载具及其储存柜的对应充气座上开发具有可循环注入洁净气体的充气系统。

然而，现有的充气系统无法有效地获得监控，使工作人员无法有效掌控其充气速率与效果，也无法有效保持其进、出气的平衡，无法满足长时间储存的需求。再者，现有者为了工作方便，其充气系统通常不具管理设计，造成其气体不断地连续性排出，造成不必要的惰性气体浪费，不仅增加材料成本，同时大量的惰性气体排入工作环境中，也会对工作人员的健康造成威胁。

换言之，如能开发一种可有效监控储存柜充气系统的系统，将可让工作人员实时掌控储存柜中该等晶圆与光罩的载具的充气与储存条件。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种实时监控充气状态的储存柜充气系统的无线监控系统，使得每一个晶圆/光罩的载具在储存过程中，可确保其充气效率及内部充气的有效性，使有害物质不接触与附着于晶圆或光罩膜表面，进而提升制作工艺的合格率；借以加速充气速率，且维持进、出气的平衡及稳定，且进一步可供远程操控与管理，增进整体制作工艺管理的效能，并可减少气材的浪费；其能模组化设计，检修时无需进行信号线的查修，有效降低维护与维修的成本。

为了达成上述目的，本实用新型提供一种储存柜充气系统的无线监控系统，包含有： 

一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；

至少一个充气模组，其分层设于该柜体的内部，而该等充气模组分别具有一供该载具摆置的基体，且该等充气模组于基体上分别设有对应该载具进行充、排气的至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；

一供气模组，其通过一导气管路与该等充气模组的充气阀件连接；

一排放模组，其通过一导气管路与该等充气模组的排气阀件连接；

至少一个流量监控模组，其分别设于对应的该等充气模组上，且该等流量监控模组于对应的该等充气模组的充气阀件与该供气模组间的导气管路上分别设有一压力流量计，而该等流量监控模组的压力流量计分别连接一无线传输组；

一无线接收模组，其设于该柜体的内部并接收该等流量监控模组的无线传输组的传输数据；