[实用新型]一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构有效
申请号: | 201320346924.8 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN203307475U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 刘剑 | 申请(专利权)人: | 刘剑 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B13/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 332000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 硅芯炉 籽晶 换位 机构 | ||
1.一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构,包括硅芯提拉头(3)、籽晶盘(4)及炉体(10),其特征在于:
所述炉体(10)内部设有硅芯提拉头(3)并且该硅芯提拉头(3)上端连接提拉钢绳软轴(1),位于炉体(10)上表面水平安装一个换位滑台(6)并且此换位滑台(6)与换位马达(7)相接,同时,换位滑台(6)相邻位置的炉体(10)上表面垂直安装一个转位马达(5);
所述硅芯提拉头(3)侧面设置钢丝导轨(2),位于硅芯提拉头(3)下端连接晶盘座(8),该晶盘座(8)下方挂接籽晶盘(4),位于炉体(10)上方封口处设置有密封仓(9)。
2.根据权利要求1所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构,其特征在于:所述提拉钢绳软轴(1)穿过炉体(10)上表面垂直向上延伸。
3.根据权利要求1所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构,其特征在于:所述籽晶盘(4)数量设置为五组。
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