[实用新型]微波介质阻挡放电等离子体发生装置有效

专利信息
申请号: 201320345901.5 申请日: 2013-06-17
公开(公告)号: CN203407059U 公开(公告)日: 2014-01-22
发明(设计)人: 徐小庆;刘德政;李战 申请(专利权)人: 合肥长江自动化工程有限公司
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 230041 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 微波 介质 阻挡 放电 等离子体 发生 装置
【权利要求书】:

1.一种微波介质阻挡放电等离子体发生装置,包括有磁控管,其特征在于:所述磁控管的底端固定连接有圆形波导,所述圆形波导的底端固定连接有石英管,所述磁控管的阴极固定连接有钨棒,所述的钨棒依次穿过圆形波导和石英管并延伸出,所述磁控管的底端在圆形波导和石英管的周围固定连接有筒形不锈钢网。

2.根据权利要求1所述的微波介质阻挡放电等离子体发生装置,其特征在于:所述的磁控管通过导线外接高压电源。

3.根据权利要求1所述的微波介质阻挡放电等离子体发生装置,其特征在于:所述的石英管中通有气体。

4.根据权利要求1所述的微波介质阻挡放电等离子体发生装置,其特征在于:所述的筒形不锈钢网通过导线接地。

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