[实用新型]测量波像差的系统

说明书

技术领域

本实用新型属于光学检测技术领域，涉及一种测量系统，尤其涉及一种自准直法所用的测量波像差的系统。

背景技术

光学系统的成像质量可用波像差值定量描述，在光学系统研制中需要对其波像差进行检测，基于自准直法的检测原理是目前工程实际中普遍采用的方法。

采用该方法进行波像差检测时需要一块口径与被测光系统口径相当的标准平面反射镜，并且要求此平面反射镜的面形精度高于被测光系系统，此标准平面反射镜选用玻璃材料进行加工，当被检测光学系统口径较小，该测试方法非常的实用而且快捷，然而当被测光学系统口径较大时（大于1000mm），这种大口径玻璃反射镜制造难度较大，而且制造周期较长，其自身的检测也很困难，制造成本甚至比相同口径的光学系统都要高。

实用新型内容

为了解决背景技术中存在的上述技术问题，本实用新型提供了一种不仅可用来检测小口径光学系统波像差，同样适用于大口径光学系统波像差检测的系统。

本实用新型的技术解决方案是：本实用新型提供了一种测量波像差的系统，包括干涉仪以及与干涉仪处于同一光路上的平面反射系统；待测光学系统置于干涉仪和平面反射系统之间；其特殊之处在于：所述平面反射系统是液体反射镜；所述干涉仪、待测光学系统以及液体反射镜自上而下依次设置在同一光路上。

上述液体反射镜是甘油液体反射镜、矿物油液体反射镜、植物油液体反射镜或水银液体反射镜。

上述测量波像差的系统还包括固定支架；所述固定支架包括用于安装干涉仪的干涉仪工装以及用于安装待测光学系统的待测光学系统工装。

上述测量波像差的系统还包括隔振平台；所述固定支架设置在隔振平台上。

上述隔振平台上设置有液槽；所述构成液体反射镜的液体置于液槽中。

本实用新型的优点是：

本实用新型提供了一种测量波像差的系统，用液体反射镜作为标准平面反射镜，产生高精度的自准直平面波对被测光学系统波像差进行检测。本实用新型创制性地提出一种非常规的液体反射镜作为自准直平面波产生的基准。此面型精度与地球半径及液体反射镜口径有关，地球半径取6400km，测量波长取632.8nm，当其表面的最大误差不超过λ/100时，此液体反射镜直径可以达到570mm。，若选用玻璃材料进行加工，要达到此精度甚至是不现实的。液体反射镜成本很低。这种液体反射镜理论上尺寸可以不受限制，可实现对大口径光学系统波像差的检测。这种反射镜是清洁的、有粘性的、具有良好反射特性的任何一种液体材料，如：甘油、某些矿物油、植物油、水银等液体。

附图说明

图1是本实用新型所提供的测量波像差的系统结构示意图；

其中：

1-干涉仪；2-待测光学系统；3-液体反射镜；4-液槽；5-隔振平台；6-固定支架；61-待测光学系统工装；62-干涉仪工装。

具体实施方式

参见图1，本实用新型提供了一种测量波像差的系统，包括干涉仪1以及与干涉仪1处于同一光路上的平面反射系统；待测光学系统2置于干涉仪1和平面反射系统之间；其特殊之处在于：平面反射系统是液体反射镜3；干涉仪1、待测光学系统2以及液体反射镜3自上而下依次设置在同一光路上。待测光学系统可以是一个完整的光学系统，也可以是一个光学元件，对其均可进行测试。

液体反射镜3是甘油液体反射镜、矿物油液体反射镜、植物油液体反射镜或水银液体反射镜。

测量波像差的系统还包括固定支架6；固定支架6包括用于安装干涉仪1的干涉仪工装62以及用于安装待测光学系统2的待测光学系统工装61。

测量波像差的光学系统还包括隔振平台5；固定支架6设置在隔振平台5上。

隔振平台5上设置有液槽4；构成液体反射镜3的液体置于液槽4中。

本实用新型提出一种液体反射镜3，采用图1所示光路实现了对被测光系统波像差的检测。此光路中用液体反射镜3作为标准平面反射镜，产生高精度的自准直平面波对被测光学系统波像差进行检测。

此面型精度与地球半径及液体反射镜3口径有关，以一个直径为0.5m的液体反射镜3为例，通过计算可用得出其表面的最大误差不超过λ/100（地球半径取6400km，λ为500nm），若选用玻璃材料进行加工，要达到此精度甚至是不现实的。液体反射镜3成本很低。这种液体反射镜3理论上尺寸可以不受限制，可实现对大口径光学系统波像差的检测。这种反射镜是清洁的、有粘性的、具有良好反射特性的任何一种液体材料，如：甘油、某些矿物油、植物油、水银等液体。