[实用新型]一种回收不纯氖氦混合气的装置

权利要求书

1.一种回收不纯氖氦混合气的装置，其特征在于，包括除氢炉、冷却器、气液分离器、低压容器和压缩机；所述除氢炉设有原料气进口和排气口，除氢炉的排气口通过管道与冷却器的进气口连接，所述冷却器的排气口通过管道与气液分离器进气口连接，气液分离器的排气口通过管道与低压容器的进气口连接，低压容器的排气口通过管道与压缩机的进气口连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，连接所述低压容器进气口的管道上设有多个旁路接口。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述低压容器为储气囊或储气罐。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气液分离器设有进气口、排气口及排液口，所述排液口处设有管道阀门。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气液分离器上设有液位计。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述压缩机为膜压机。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述压缩机的排气口通过管道与氖氦分离提纯装置相连。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述除氢炉内填充有催化剂。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，冷却器是一种换热设备，为水冷却器或用其它比除氢后气体温度低的介质换热的设备。