[实用新型]一种高效单晶炉石墨坩埚有效
申请号: | 201320310050.0 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203411659U | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 张贤虎 | 申请(专利权)人: | 西格里特种石墨(上海)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200041 上海市奉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 单晶炉 石墨 坩埚 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉石墨坩埚,具体来说是一种高效的单晶炉石墨坩埚。
背景技术
现有单晶炉石墨坩埚由于活塞外形构造和结构设计过于简单,如图3,在熔炼过程中,由于四周的坩埚壁10均为竖直,导致了原料浪费和生产效率低下的缺陷,另外单晶炉石墨坩埚的安装过程中,常常出现埚塞11不易定位和坩埚固定不牢的情况;同时石英坩埚与石墨坩埚之间存在缝隙,生产过程中产生的杂质颗粒如不能及时排出会导致单晶硅的纯度降低,造成产品不符合生产要求。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷,提供一种高效的单晶炉石墨坩埚。
本实用新型通过以下技术方案来实现:
高效单晶炉石墨坩埚,包括坩埚主体、坩埚座和坩埚塞,其特征是:所述坩埚主体放置在所述坩埚座上,所述坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层碳化硅涂层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成,所述坩埚主体呈锥台形,所述坩埚主体底部设有一个开口,所述开口截面呈弧形,所述坩埚塞设置在所述开口内,所述坩埚塞形状与所述开口的形状相适配,所述坩埚塞底部设有一球面定位凸头,所述坩埚座上设有一与所述定位凸头形状相匹配的定位凹腔,所述定位凸头可嵌入所述定位凹腔内,每个所述坩埚板与所述坩埚座连接处均设置有一个排渣通孔,所述排渣通孔与水平方向形成的夹角为30°。
如此设计,斜面设计使得原料利用更加充分,生产效率有所提高,埚塞定位更加容易且坩埚固定更加牢固。
作为优化,所述定位凸头呈正方形,所述定位凹腔为正方形凹腔。
本实用新型一种高效单晶炉石墨坩埚结构简单、成本低廉、设计巧妙、效果明显,克服了传统石墨坩埚原料浪费和生产效率底下、杂质颗粒不能有效排出,以及不易定位和坩埚固定不牢的缺陷,广泛适用于石墨坩埚的生产制造。
附图说明
下面结合附图对本实用新型一种高效单晶炉石墨坩埚作进一步说明:
图1是本高效单晶炉石墨坩埚的平面结构示意图;
图2是本高效单晶炉石墨坩埚的剖面结构示意图;
图3为现有技术中石墨坩埚的结构示意图。
图中:1-坩埚主体、2-坩埚座、3-坩埚塞、4-坩埚板、5-石墨纸封带、6-碳化硅涂层、7-定位凸头、8-排气通孔、9-排渣通孔、10-为坩埚壁、11-为埚塞。
具体实施方式
结合图1与图2,石墨坩埚包括坩埚主体1、坩埚座2和坩埚塞3,坩埚主体1放置在坩埚座2上,坩埚主体1由四块相同的且内壁上设有一层碳化硅涂层6的坩埚板通过石墨纸封带5相互拼接围成,坩埚主体1呈锥台形,坩埚主体1底部设有一个开口,开口截面呈弧形,坩埚塞3设置在开口内,坩埚塞3形状与开口的形状相适配,坩埚塞3底部设有一定位凸头7,坩埚座2上设有与定位凸头7形状相匹配的定位凹腔,定位凸头7可嵌入定位凹腔内,每个坩埚板4与坩埚座2连接处均设置有一个排渣通孔9,排渣通孔9与水平方向形成的夹角为30°;定位凸头7呈正方形,定位凹腔为正方形凹腔。
本实用新型包括但不限于上述实施方式,任何符合本权利要求书描述的产品,均落入本实用新型的保护范围之内。
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