[实用新型]硅片抓取机械手有效
申请号: | 201320306699.5 | 申请日: | 2013-05-30 |
公开(公告)号: | CN203242608U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 俞超 | 申请(专利权)人: | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 315201 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 抓取 机械手 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种机械手,特别涉及一种硅片抓取机械手。
背景技术
太阳能光伏行业晶体硅电池的制作过程中,通常需将硅片从一个工位传送至另一个工位,传统的方式是采用人工方式,费时费力,而且容易损坏硅片。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能自动抓取硅片的硅片抓取机械手。
(二)技术方案
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种硅片抓取机械手,包括直管4、机械密封8和真空吸盘6,所述直管4的一端密封,所述直管4密封的一端设有传动轴2,所述传动轴2的端部设有外花键1,所述直管4的另一端端面开设有出气口,所述机械密封8安装在所述出气口上,所述直管4的侧壁设有进气孔5,所述进气孔5周向均布且轴向等距排列在所述直管4的侧壁,所述真空吸盘6安装在所述进气孔5上。
进一步的,所述机械密封8为集装式机械密封。
进一步的,所述直管4的两端均设有环形凸起7。
(三)有益效果
本实用新型硅片抓取机械手,通过直管侧壁的吸盘完成对硅片的抓取;在出气口上设有机械密封,能在直管转动过程中,保证密封性;传动轴上设有外花键,能稳定的驱动直管旋转;本实用新型硅片抓取机械手,结构简单,驱动稳定,抓取效率高且效果好,提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型硅片抓取机械手的结构示意图。
具体实施方式
参阅图1,本实用新型提供一种硅片抓取机械手,包括直管4、机械密封8和真空吸盘6,直管即为中空管,该直管4的一端密封,在该密封的一端设有传动轴2,在传动轴2的端部设有外花键1,在直管4的另一端端面开设有出气口,机械密封8安装在该出气口上,在直管4的侧壁设有进气孔5,进气孔5周向均布且轴向等距排列在直管4的侧壁,即直管4的侧壁周向均布有若干列进气孔,本实施例中,均布有五列,每列进气孔由若干沿轴向等距排列的进气孔组成,真空吸盘6安装在该进气孔5上;为了方便安装,本实施例中的机械密封8为集装式机械密封;为了在旋转时防止轴向滑移,在直管4的两端均设有环形凸起7,起到止挡的作用。
本实用新型硅片抓取机械手,通过直管侧壁的吸盘完成对硅片的抓取;在出气口上设有机械密封,能在直管转动过程中,保证密封性;传动轴上设有外花键,能稳定的驱动直管旋转;本实用新型硅片抓取机械手,结构简单,驱动稳定,抓取效率高且效果好,提高了生产效率。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造