[实用新型]一种石墨片卡点清理设备有效
申请号: | 201320304923.7 | 申请日: | 2013-05-30 |
公开(公告)号: | CN203300614U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 王守志;勾宪芳;姜利凯;王鹏 | 申请(专利权)人: | 中节能太阳能科技(镇江)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 缪友菊 |
地址: | 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 片卡点 清理 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石墨舟,具体涉及一种石墨片卡点清理设备。
背景技术
太阳能是一种干净可再生的新能源,如果应用在大型电厂,可有效减少温室效应,有些能源专家和环境保护专家则认为,在满足人类今后能量需要方面,太阳能的热影响比任何其他替换品的热影响要小得多。尤其是在电力供力方面,有专家认为太阳能发电最终将在电力供应中占20%。
太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件,其基本原理是PN结的光生伏特效应。在太阳能电池中绝大部分为晶体硅太阳能电池,晶体硅太阳能电池在生产过程中,用于制作氮化硅薄膜的PE工序是生产的重要环节,PE工序所使用的石墨舟由石墨片组成,而卡点镶嵌在石墨片上,工艺卡点沾有硅料时会导致碎片,所以需要定期对石墨舟进行拆分,并对工艺卡点进行更换。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型的目的在于针对现有技术的不足,提供一种无需拆分石墨片即可进行卡点清理的石墨片卡点清理设备。
技术方案:本实用新型所述的一种石墨片卡点清理设备,包括膜片、转轴和电动机,所述膜片为中心穿孔的圆片,所述转轴穿过孔由电动机驱动带动膜片绕中心转动,转动中膜片的弧边直接与卡点需清理的位置接触,磨去卡点上的硅料等。
为了便于膜片边缘磨损时可随时更换,所述膜片的中心通过紧固件固定在转轴上,便于拆卸。
进一步,还包括相互啮合的主动齿轮和从动齿轮,所述电动机通过驱动主动齿轮带动从动齿轮转动,所述转轴穿过所述从动齿轮中心跟随从动齿轮转动,完成膜片的转动。
优选地,所述膜片的厚度为3mm,与卡点的弧形形状相适配。
为了保证膜片磨掉石墨片上的硅料但不损坏石墨片,所述膜片为石墨制成的膜片。
有益效果:使用本实用新型对石墨片进行清理,无需对石墨舟进行拆分或对工艺卡点进行更换,只需用旋转中膜片的弧边与卡点需要清理的位置进行接触,即可磨掉卡点上的硅料,有效防止碎片。
附图说明
图1为实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面对本实用新型技术方案进行详细说明,但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。
实施例:本实用新型一种边缘电阻测试台,如图1所示,一种石墨片卡点清理设备,包括膜片1、转轴2、电动机3、主动齿轮4和从动齿轮5,膜片1为中心穿孔的圆片,由石墨制成,厚度为3mm,膜片1边缘的弧边与卡点的弧形一致,转轴2穿过孔通过螺钉固定在膜片1上,可随时拆卸,电动机3由12V蓄电池6供电,打开电动机3开关7,通过驱动主动齿轮4带动与之啮合的从动齿轮5转动,转轴2穿过从动齿轮5中心跟随从动齿轮5转动,从而带动膜片1绕中心转动,转动中膜片1的弧边直接与卡点需清理的位置接触,磨去卡点上的硅料等。
如上所述,尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型,但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下,可对其在形式上和细节上作出各种变化。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造