[实用新型]自重式上夹具和基板夹具

权利要求书

1.一种自重式上夹具，用于夹持真空镀膜设备的基板，以将所述基板固定在所述真空镀膜设备的托架上，其特征在于，所述自重式上夹具包括自重卡块和安装压盖，所述自重卡块一端设置有用于夹持所述基板的卡槽，所述托架上设置有供所述自重卡块上下滑动的凹槽，所述安装压盖上设置有用于限制所述自重卡块上下滑动的极限位置的限位孔，所述安装压盖固定在所述托架上，所述自重卡块位于所述安装压盖和所述托架之间。

2.如权利要求1所述的自重式上夹具，其特征在于，所述自重式上夹具还包括螺钉，所述托架上设置有与所述螺钉适配的第一螺纹孔，所述第一螺纹孔设置于所述凹槽的周围；所述安装压盖上设置有与所述螺钉适配、与所述第一螺纹孔对应设置的第二螺纹孔，所述安装压盖通过所述螺钉固定在所述托架上。

3.如权利要求1或2所述的自重式上夹具，其特征在于，所述自重卡块背离所述凹槽的一侧设置有与所述限位孔对应设置的拨移钮。

4.如权利要求3所述的自重式上夹具，其特征在于，所述拨移钮呈阶梯状设置，所述限位孔的宽度大于所述拨移钮的宽度。

5.如权利要求4所述的自重式上夹具，其特征在于，所述限位孔呈腰形孔设置。

6.如权利要求1所述的自重式上夹具，其特征在于，所述凹槽呈矩形槽设置，所述凹槽的宽度大于所述自重卡块的宽度，所述凹槽的长度大于所述自重卡块的长度。

7.一种基板夹具，用于夹持真空镀膜设备的基板，以将所述基板固定在所述真空镀膜设备的托架上，包括下夹具，其特征在于，所述基板夹具还包括权利要求1至6中任意一项所述的自重式上夹具。