[实用新型]在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及等离子处理设备技术领域，特别是涉及一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置。 

背景技术

等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化和改性等场合。通过等离子处理设备的处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆和镀等操作，增强粘合力与键合力，同时可以去除油污、油脂和有机污染物。 

卷性等离子处理设备是用来处理柔性卷是电路板和卷性电子材料，如电路板覆盖膜等。一般的卷性等离子处理设备有两种，一种是没有调整张力的纠偏装置，从而导致收料齐整度不够，使产品的质量受到影响；另一种是有调整张力的纠偏装置，然而由于卷性等离子处理设备是在真空等离子环境中工作，纠偏装置会受到等离子的腐蚀作用，从而降低纠偏装置的使用寿命。 

实用新型内容

基于此，有必要针对等离子造成对纠偏装置腐蚀而影响其使用寿命的问题，提供一种解决上述问题的在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置。 

一种在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。 

在其中一个实施例中，所述导向轮机构包括： 

导正棍； 

固定板，安装有第一固定座和第二固定座和第一固定杆和第二固定杆，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别固定安装于所述第一固定座和所述第二固定座； 

轴承，所述轴承包括第一直线轴承、第二直线轴承、第一万向轴承、第二万向轴承和第三万向轴承，所述第一直线轴承和第二直线轴承固定于所述固定板，所述连接杆滑设于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承内，所述第一万向轴承固定套设于所述连接杆并设置于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承之间，且所述第一万向轴承与所述导正棍固定连接，所述第二万向轴承和所述第三万向轴承均固定安装于所述导正棍，所述第一固定杆和所述第二固定杆分别滑设于所述第二万向轴承和所述第三万向轴承内，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈三角形形状设置。 

在其中一个实施例中，所述导正棍包括底板、两侧板和两导向轴，所述两侧板固定安装于所述底板两侧；所述两导向轴均安装于所述两侧板，且分别安装于所述两侧板的两端；所述三个万向轴承均固定安装于所述底板一侧。 

在其中一个实施例中，所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承呈正三角形形状设置，且所述第一万向轴承、所述第二万向轴承和所述第三万向轴承构成的正三角形位于所述底板的中心。 

在其中一个实施例中，所述导向轮机构不工作时，所述第一万向轴承位于所述第一直线轴承和所述第二直线轴承中间。 

在其中一个实施例中，所述电驱动件包括电机和驱动缸，所述驱动缸安装于所述电机，所述驱动缸与所述连接杆通过密封法兰密封连接。 

在其中一个实施例中，所述驱动缸为直线式驱动缸或者旋转式驱动缸。 

在其中一个实施例中，还包括安装架，所述纠偏传感器通过所述安装架安装于所述导向轮机构。 

上述在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，卷性材料经过真空等离子的处理后经过导向轮机构，当卷性材料各处的张力发生变化产生偏移或者卷性 材料两端位置偏移时，通过纠偏传感器采集卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，控制系统接收纠偏传感器输出的偏移信号而控制电驱动件驱动连接杆的运动，通过连接杆的运动而调整导向轮机构的方向，从而达到卷性材料张力调整等纠偏的目的；同时由于电驱动件与控制系统设置于常压环境中，避免设置于真空等离子环境中而受到等离子的腐蚀作用，也解决了电驱动件设置于真空环境中散热不好的问题，提高了纠偏装置的使用寿命。 

附图说明

图1为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置结构示意图； 

图2为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置另一视角结构示意图； 

图3为在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置工作状态结构示意图；