[实用新型]超声作用下硬脆材料去除的塑脆转换临界条件确定装置

权利要求书

1.超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：包括刀具（8）、测力单元及超声波振动部分，晶片（10）设置在所述测力单元上，所述测力单元与X轴控制器连接，所述刀具（8）与所述超声波振动部分、Z轴控制器连接。

2.如权利要求1所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述测力单元、X轴控制器连接和Z轴控制器均与电脑连接。

3.如权利要求1或2所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述超声波振动部分包括超声波发声器，所述超声波发声器包括换能器（5）且通过变幅杆（6）与导波杆（7）连接，所述导波杆（7）与所述刀具（8）连接。

4.如权利要求3所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述超声波振动部分设置在滑台（4）上，所述滑台（4）通过丝杠（3）、联轴器（2）与Z轴驱动电机（1）连接。

5.如权利要求4所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述测力单元包括夹紧装置，所述晶片（10）设置在所述夹紧装置上，所述夹紧装置通过X轴控制器与X轴驱动电机（12）连接。

6.如权利要求5所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述测力单元还包括微动螺杆（13）。

7.如权利要求6所述的超声作用下硬脆材料的塑脆转变临界条件确定装置，其特征在于：所述测力单元设置在床身上，所述床身上还设有立柱（9），所述刀具（8）、Z轴驱动电机（1）和超声波振动部分设置在所述立柱（9）上。