[实用新型]一种用于小口径掺杂炉管的匀流板有效
| 申请号： | 201320288902.0 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN203284502U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 罗强 | 申请（专利权）人： | 康可电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214142 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 小口径 掺杂 炉管 匀流板 | ||
1.一种用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于该匀流板适用于小尺寸硅晶片的扩散掺杂，包括依次平行排列的主匀流板（1）和两层副匀流板（2），主匀流板（1）和副匀流板（2）呈圆形或方形，其尺寸与所述硅晶片相当；主匀流板（1）上布置有中心匀流大孔（3）以及围绕中心匀流大孔（3）呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔（4），副匀流板（2）上布置有中心匀流小孔（5）以及围绕中心匀流小孔（5）呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔（4）。
2. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：主匀流板（1）和两层副匀流板（2）三者依次相距2~3cm。
3. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：主匀流板（1）和两层副匀流板（2）材质为石英板。
4. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：主匀流板（1）和两层副匀流板（2）三者通过石英棒（6）连接为一体。
5. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：中心匀流大孔（3）直径为1.5~2.0cm。
6. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：边缘匀流小孔（4）和中心匀流小孔（5）直径为0.5~1.0cm。
7. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：主匀流板（1）和副匀流板（2）呈圆形，直径为5~6英寸。
8. 如权利要求1所述用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于：匀流板（1）和副匀流板（2）厚度为0.2~0.3cm。
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