[实用新型]半导体芯片支撑装置有效

专利信息
申请号: 201320288718.6 申请日: 2013-05-23
公开(公告)号: CN203325871U 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 王月芳 申请(专利权)人: 王月芳
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315500 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 半导体 芯片 支撑 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片支撑装置,包括多个隔板(1)、紧固夹(2)以及基座(3),其特征在于,所述多个隔板(1)累放于基座(3)上,所述紧固夹(2)包括多个调节杆(4)、按压板(5)以及多个调节螺母(6),所述调节杆(4)的一端固定在基座(3)上,另一端穿过按压板(5),所述调节杆(4)上设置有与调节螺母(6)配合的螺纹,所述调节螺母(6)穿过调节杆(4)。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片支撑装置,其特征在于,所述多个隔板(1)同轴累放在基座(3)上。

3.根据权利要求2所述的半导体芯片支撑装置,其特征在于,所述调节杆(4)的数量和调节螺母(6)的数量相同。

4.根据权利要求3所述的半导体芯片支撑装置,其特征在于,所述隔板(1)与半导体芯片形状和大小都相同。

5.根据权利要求4所述的半导体芯片支撑装置,其特征在于,所述基座(3)上设置有旋转台(7),所述隔板(1)设置在旋转台(7)上。

6.根据权利要求5所述的半导体芯片支撑装置,其特征在于,所述隔板(1)表面涂覆有防腐蚀材料层(8)。

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