[实用新型]蒸发自动转换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于多组蒸发电极更替使用中自动切换的蒸发自动转换装置。

背景技术

真空蒸发镀膜原理是在真空条件下，通过蒸发源加热膜材使其蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源至基片的线性尺寸时，蒸发原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其它气体原子或分子的冲击和阻碍，可直接到达被镀的基片表面上，由于基片温度较低便凝结在其上而成膜。电阻加热式蒸发源实际上是一个电阻加热器，它是利用发热体通电后产生的焦耳热熔融膜材使其蒸发。为使用多组蒸发源时，需要切换各组蒸发源，实现蒸发转换，而目前的蒸发转换均为手动操作，不能实现各蒸发源的自动切换，但手动操作的方便性和准确性很差。

图1所示为目前的手动蒸发转换单元，主要由电流分配器组合件1、塞把2、垫圈3、接线杆4和连通片5组成。这种结构的蒸发转换单元是通过手动将塞把2选择性插入电流分配器组合件2中接通电路，使所连接的蒸发电极正常工作。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸发自动转换装置，能自动控制对多个蒸发源进行切换，从而解决目前手动操作多个蒸发源的蒸发切换不方便、切换准确性差的问题。

解决上述技术问题的技术方案如下：

本实用新型提供一种蒸发自动转换装置，包括：

框架组件，用于设置各部件；

至少两个气缸，分别设置在所述框架组件上，各气缸的气缸杆伸入所述框架组件内；

所述框架组件内的各气缸的气缸杆前端均连接有一开关组件，各气缸的气缸杆伸出或缩回能使该气缸对应的开关组件的接通或断开；

控制器，分别与各气缸电连接，用于控制各气缸的气缸杆伸出或缩回。

本实用新型的有益效果为：通过气缸对开关组件进行控制，可实现自动切换各开关组件的开与关，进而切换各蒸发源的开与关，实现自动蒸发转换。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为现有技术提供的手动蒸发转换单元示意图；

图2为本实用新型实施例提供的自动蒸发转换单元结构俯视示意图

图3为图2的A－A向剖视图；

图4为图3的B－B向剖视图。

具体实施方式

下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

本实用新型实施例提供一种蒸发自动转换装置，如图1所示，该装置包括：

框架组件、至少两个气缸、数量与气缸一致的开关组件和控制器；

其中，框架组件，用于设置各部件；

至少两个气缸，分别设置在框架组件上，各气缸的气缸杆伸入框架组件内；

框架组件内的各气缸的气缸杆前端均连接有一开关组件，各气缸的气缸杆伸出或缩回能使该气缸对应的开关组件的接通或断开；

控制器，分别与各气缸的控制端电连接，用于控制各气缸的气缸杆伸出或缩回。

上述蒸发自动转换装置中，框架组件由若干支杆31、下板32、上板36和若干支撑杆33组成，上板36设置在下板32上方，上、下板32、36之间通过分布设置的若干支撑杆33支撑，上、下板32、36之间形成框架组件的内部容置空间，下板32底面上分布设置若干支杆31。

上述蒸发自动转换装置中，各气缸分别设置在框架组件的上板36上，各气缸的气缸杆伸入框架组件的上、下板36、32之间的容置空间内。

如图2的所示，上述蒸发自动转换装置的开关组件包括：

导电板组件，固定设置在与该开关组件对应气缸的气缸杆前端；

电极组件，对应设置在导电板组件下方的框架组件上，电极组件分隔为互不连接的两部分电极，每一部分电极各连接一条蒸发电缆线。这样导电板组件同时接触两部分电极后，使开关组件导通，反之使开关组件断开。

上述蒸发自动转换装置中，导电板组件由上绝缘垫39、垫311、下绝缘垫310和导电板312构成；

其中，上绝缘垫39、垫与下绝缘垫依次套设固定在气缸37的气缸杆38前端上；