[实用新型]一种用来制备纳米硅粉的电弧放电装置

权利要求书

1. 一种用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，包括容纳火花放电的腔体，所述腔体一端连通供介电材料进入的管道，另一端由阀门连通有颗粒收集器，还包括置于腔体中的第一电极、第二电极以及与第一电极、第二电极导通的电源；所述第一电极连接有使第一电极旋转的旋转马达，所述第二电极连接有使第二电极前后移动的步进马达。

2. 根据权利要求1所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，所诉第一电极为所需制备的纳米材料的块材，形状为圆柱体。

3. 根据权利要求2所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，所述第二电极为所需制备的纳米材料的块材，其靠近第一电极的一面为凹形的圆柱面。

4. 根据权利要求3所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，所述第一电极的圆柱体面与第二电极的凹形圆柱面的间距为0.8~1.2mm。

5. 根据权利要求1所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，所述电源为脉冲电源，其产生电压施加于第一电极和第二电极上使之产生火花放电；所述脉冲电源为旋转脉冲电源发生器（Rotary Impulse Generator）、弛豫电源发生器（Relaxation Generator）、脉冲电源发生器（Pulse Generator）和杂化电源发生器（Hybird Generator）中的任何一种。

6. 根据权利要求1所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电装置，其特征在于，所述颗粒收集器内设有分离纳米颗粒的过滤布，所述颗粒收集器后端还连接有辅助引入流动气体的真空泵。