[实用新型]一种光学膜厚监控系统

权利要求书

1.一种光学膜厚监控系统，包括放置在基板支架上的测试片、固定在测试片下方的光源和设置在测试片上方的进光口，所述的进光口通过光纤与外部的数据处理模块相连，其特征在于：还包括用于旋转所述测试片的旋转装置和安放在所述测试片上朝向所述光源一侧的测试片盖，所述测试片盖上设有镂空区域。

2.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述旋转装置设置在所述测试片的上方，在所述测试片上朝向所述旋转装置的一侧设置凹槽，所述凹槽的大小和形状与所述旋转装置相适配，所述旋转装置通过一个使其可以进入到所述凹槽中的伸缩装置连接在旋转马达上。

3.根据权利要求2所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述旋转马达连接控制其旋转角度的控制模块。

4.根据权利要求2所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：在所述凹槽中设置红外激光发射装置，在所述旋转装置底端安装用于接收所述红外激光发射装置所发射的激光的红外激光接收装置。

5.根据权利要求4所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述的红外激光接收装置与所述的进光口位于同一个纵平面内。

6.根据权利要求4所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述的红外激光发射装置为红外线激光灯。

7.根据权利要求5所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述的红外线激光灯的数量为3个。

8.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：在所述的基板支架的同一水平面上放置的测试片的数量为1—6片。

9.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：测试片半径和测试片盖上镂空区域的大小之间的关系设置为使所述测试片至少可以经过十一次旋转。

10.根据权利要求1所述的一种光学膜厚监控系统，其特征在于：所述镂空区域为圆形，设置在所述测试片盖的边缘。