[实用新型]气体可溶性成分吸收采样器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种采样器，特别是涉及一种用于采样气体中可溶性成分的气体可溶性成分吸收采样器。

背景技术

在半导体的制造领域，微小的气相分子污染物(AMC，Airborne Molecular Contamination)会随着气流漂动，不仅可能对人体产生危害，而且目前半导体制程线宽不断下降，气相分子污染物的存在也会严重影响制程良率。控制环境中气体的气相分子污染物浓度是一重要的课题。

现有对于气相分子污染物的浓度检测，一般是利用液体吸附气体中的可溶性成分来采样，再以离子层析仪分析离子浓度。为了使气体采样更为方便，台湾新型专利TWM378380揭露一种气液转换器，为平板式，且借由一透析模分隔气体流道与液体流道，使有机油气不易附着液体流道壁面，以免有机油气影响液体扩散，可使液体吸附面积稳定，增加离子吸收效率。

然而，由于气体中的可溶性成分需要穿过透析膜才能接触液体，也会稍微降低气体中的可溶性成分被液体吸收的效果。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能使液体直接与气体接触且能使液体展开而具有较大接触面积的气体可溶性成分吸收采样器。

本实用新型气体可溶性成分吸收采样器，包含：一气体导流单元及一液体导流单元。该气体导流单元包括一第一平板。该第一平板具有一顶面、一底面、一第一抵接板面、一上导流槽、一下导流槽、一气体出孔及一气体入孔。该上导流槽及该下导流槽形成于该第一抵接板面且分别靠近该顶面及该底面。该气体出孔形成于该顶面且连通至该上导流槽。该气体入孔形成于该底面且连通至该下导流槽。该液体导流单元包括一第二平板及一扩散机构。该第二平板具有一第二抵接板面、一浅槽、一液体扩散槽及一样品收集槽。该第二抵接板面与该第一抵接板面相对抵接。该浅槽形成于该第二抵接板面，且位置对应于该上导流槽与该下导流槽之间。该液体扩散槽由该浅槽靠近其顶侧处进一步凹陷而成且横向延伸，并于该第二平板的一侧面形成一液体入口。该样品收集槽由该浅槽靠近其底侧处进一步凹陷而成且横向延伸，并于该第二平板的一侧面形成一样品出口。该扩散机构设置于该第二平板，且包括一位于该浅槽中的扩散网。该扩散网由该液体扩散槽延伸至该样品收集槽并覆盖界定该浅槽的一壁面，而使流入该液体扩散槽的液体借由毛细作用扩散布满该扩散网形成液膜以与经由该气体导流单元流通的气体接触。

本实用新型所述的气体可溶性成分吸收采样器，其中，该扩散机构还包括一安装于该第二平板的固定片，该固定片位于该浅槽顶侧处并与该第二平板共同夹持该扩散网的顶侧，而使该扩散网垂挂于该浅槽中。

本实用新型所述的气体可溶性成分吸收采样器，其中，该扩散网的网目介于100至400目。

本实用新型所述的气体可溶性成分吸收采样器，其中，该上导流槽及该下导流槽分别由一横壁面及一斜壁面界定，所述横壁面垂直该第一抵接板面，所述斜壁面分别由对应的横壁面倾斜地延伸至该第一抵接板面，该气体出孔及该气体入孔分别贯穿所述横壁面。

本实用新型所述的气体可溶性成分吸收采样器，其中，该样品收集槽的底侧由一斜面界定，该斜面朝该样品出口处向下倾斜以使液体集中往该样品出口处流动。

本实用新型所述的气体可溶性成分吸收采样器，其中，该液体导流单元还包括一挡板，该挡板与该第二平板液体不可泄漏地结合，共同界定出该样品收集槽。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型气体可溶性成分吸收采样器的整体结构简单，而且扩散网的材料容易取得并容易安装在第二平板，能够简化制造程序并降低成本。再者，借由扩散网将液体展开形成液膜，不仅能提高吸附面积及吸附效果，也能节省液体用量。

附图说明

图1是一侧视示意图，说明本实用新型气体可溶性成分吸收采样器之一较佳实施例；

图2是一主视图，说明该较佳实施例之一气体导流单元；

图3是一仰视图，说明该气体导流单元；

图4是一主视图，说明该较佳实施例之一液体导流单元；及

图5是一沿图4中的V-V直线所取的剖视图，说明该液体导流单元。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1，本实用新型气体可溶性成分吸收采样器100，包含一气体导流单元10及一液体导流单元20。