[实用新型]一种二维周期性V型金属等离子共振结构有效
| 申请号： | 201320281519.2 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN203249871U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 吕昌贵;祁正青;王肇征;毕纪军;叶莉华;钟嫄;崔一平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;B82Y15/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二维 周期性 金属 等离子 共振 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种二维周期性V型金属等离子共振结构，其特征在于：包括衬底（1）和金属膜（2）；所述衬底（1）的形状为V型凹槽，V型凹槽底部设有狭缝；所述金属膜（2）设于衬底（1）的上表面上和V形凹槽内。
2.根据权利要求1所述的一种二维周期性V型金属等离子共振结构，其特征在于：所述衬底（1）为晶体硅衬底，晶体硅衬底的上表面晶向为<100>，晶体硅衬底的V形凹槽斜面晶向为<111>。
3.根据权利要求1所述的一种二维周期性V型金属等离子共振结构，其特征在于：所述金属膜（2）为金膜或银膜。
4.根据权利要求1所述的一种二维周期性V型金属等离子共振结构，其特征在于：所述V形凹槽的斜面倾斜角为54.7°。
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